Pretražite po imenu i prezimenu autora, mentora, urednika, prevoditelja

Napredna pretraga

Pregled bibliografske jedinice broj: 916310

Mehanička svojstva Al-(Nb, Mo, Ta, W) tankih filmova


Car, Tihomir; Radić, Nikola; Čekada, Miha; Panjan, Peter; Tonejc, Anton
Mehanička svojstva Al-(Nb, Mo, Ta, W) tankih filmova // Strojarstvo : časopis za teoriju i praksu u strojarstvu, 53 (2011), 6; 429-434 (međunarodna recenzija, članak, znanstveni)


CROSBI ID: 916310 Za ispravke kontaktirajte CROSBI podršku putem web obrasca

Naslov
Mehanička svojstva Al-(Nb, Mo, Ta, W) tankih filmova
(Mehanical properties of Al-(Nb, Mo, Ta, W) thin films)

Autori
Car, Tihomir ; Radić, Nikola ; Čekada, Miha ; Panjan, Peter ; Tonejc, Anton

Izvornik
Strojarstvo : časopis za teoriju i praksu u strojarstvu (0562-1887) 53 (2011), 6; 429-434

Vrsta, podvrsta i kategorija rada
Radovi u časopisima, članak, znanstveni

Ključne riječi
amorfne slitine ; magnetronsko raspršenje ; mikrotvrdoća ; naprezanje
(magnetron sputtering ; microhardness, stress)

Sažetak
Tanki filmovi AlxNb1-x, AlxMo1-x, AlxTa1-x, AlxW1-x, dobiveni su magnetronskom depozicijom na sobnoj temperaturi. Struktura filmova ispitana je rendgenskim zračenjem. Kod svih kombinacija ustanovljena je amorfna i kristalna faza te područja u kojem su kristalna i amorfna faza miješane. Debljine filmova i naprezanja mjerena su na profilometru. Prosječne debljine filmova kretale su se u rasponu od 325 do 400 nm za Al-(Nb, Mo, Ta) filmove dok je kod Al-W filmova debljina bila oko 2 μm. Mikrotvrdoća je mjerena pri opterećenju 2 mN na uređaju za mjerenje mikro i nano-tvrdoće. Mikrotvrdoće AlW i AlTa filmova, u amorfnom području, više su od vrijednosti tvrđeg elementa u kombinaciji (W, Ta).

Izvorni jezik
Hrvatski

Znanstvena područja
Fizika



POVEZANOST RADA


Ustanove:
Institut "Ruđer Bošković", Zagreb

Profili:

Avatar Url Tihomir Car (autor)

Avatar Url Nikola Radić (autor)

Citiraj ovu publikaciju:

Car, Tihomir; Radić, Nikola; Čekada, Miha; Panjan, Peter; Tonejc, Anton
Mehanička svojstva Al-(Nb, Mo, Ta, W) tankih filmova // Strojarstvo : časopis za teoriju i praksu u strojarstvu, 53 (2011), 6; 429-434 (međunarodna recenzija, članak, znanstveni)
Car, T., Radić, N., Čekada, M., Panjan, P. & Tonejc, A. (2011) Mehanička svojstva Al-(Nb, Mo, Ta, W) tankih filmova. Strojarstvo : časopis za teoriju i praksu u strojarstvu, 53 (6), 429-434.
@article{article, author = {Car, Tihomir and Radi\'{c}, Nikola and \v{C}ekada, Miha and Panjan, Peter and Tonejc, Anton}, year = {2011}, pages = {429-434}, keywords = {amorfne slitine, magnetronsko raspr\v{s}enje, mikrotvrdo\'{c}a, naprezanje}, journal = {Strojarstvo : \v{c}asopis za teoriju i praksu u strojarstvu}, volume = {53}, number = {6}, issn = {0562-1887}, title = {Mehani\v{c}ka svojstva Al-(Nb, Mo, Ta, W) tankih filmova}, keyword = {amorfne slitine, magnetronsko raspr\v{s}enje, mikrotvrdo\'{c}a, naprezanje} }
@article{article, author = {Car, Tihomir and Radi\'{c}, Nikola and \v{C}ekada, Miha and Panjan, Peter and Tonejc, Anton}, year = {2011}, pages = {429-434}, keywords = {magnetron sputtering, microhardness, stress}, journal = {Strojarstvo : \v{c}asopis za teoriju i praksu u strojarstvu}, volume = {53}, number = {6}, issn = {0562-1887}, title = {Mehanical properties of Al-(Nb, Mo, Ta, W) thin films}, keyword = {magnetron sputtering, microhardness, stress} }

Časopis indeksira:


  • Scopus





Contrast
Increase Font
Decrease Font
Dyslexic Font