Pregled bibliografske jedinice broj: 916310
Mehanička svojstva Al-(Nb, Mo, Ta, W) tankih filmova
Mehanička svojstva Al-(Nb, Mo, Ta, W) tankih filmova // Strojarstvo : časopis za teoriju i praksu u strojarstvu, 53 (2011), 6; 429-434 (međunarodna recenzija, članak, znanstveni)
CROSBI ID: 916310 Za ispravke kontaktirajte CROSBI podršku putem web obrasca
Naslov
Mehanička svojstva Al-(Nb, Mo, Ta, W) tankih filmova
(Mehanical properties of Al-(Nb, Mo, Ta, W) thin films)
Autori
Car, Tihomir ; Radić, Nikola ; Čekada, Miha ; Panjan, Peter ; Tonejc, Anton
Izvornik
Strojarstvo : časopis za teoriju i praksu u strojarstvu (0562-1887) 53
(2011), 6;
429-434
Vrsta, podvrsta i kategorija rada
Radovi u časopisima, članak, znanstveni
Ključne riječi
amorfne slitine ; magnetronsko raspršenje ; mikrotvrdoća ; naprezanje
(magnetron sputtering ; microhardness, stress)
Sažetak
Tanki filmovi AlxNb1-x, AlxMo1-x, AlxTa1-x, AlxW1-x, dobiveni su magnetronskom depozicijom na sobnoj temperaturi. Struktura filmova ispitana je rendgenskim zračenjem. Kod svih kombinacija ustanovljena je amorfna i kristalna faza te područja u kojem su kristalna i amorfna faza miješane. Debljine filmova i naprezanja mjerena su na profilometru. Prosječne debljine filmova kretale su se u rasponu od 325 do 400 nm za Al-(Nb, Mo, Ta) filmove dok je kod Al-W filmova debljina bila oko 2 μm. Mikrotvrdoća je mjerena pri opterećenju 2 mN na uređaju za mjerenje mikro i nano-tvrdoće. Mikrotvrdoće AlW i AlTa filmova, u amorfnom području, više su od vrijednosti tvrđeg elementa u kombinaciji (W, Ta).
Izvorni jezik
Hrvatski
Znanstvena područja
Fizika
POVEZANOST RADA
Ustanove:
Institut "Ruđer Bošković", Zagreb
Citiraj ovu publikaciju:
Časopis indeksira:
- Scopus