Pregled bibliografske jedinice broj: 886958
In-Situ Monitoring of Etching and Deposition Processes for Optoelectronic Device Fabrication
In-Situ Monitoring of Etching and Deposition Processes for Optoelectronic Device Fabrication // Proceedings of the IEEE Lasers and Electro-Optics Society 1992 Annual Meeting, paper AOD 1.2
Boston (MA), Sjedinjene Američke Države, 1992. (pozvano predavanje, međunarodna recenzija, cjeloviti rad (in extenso), znanstveni)
CROSBI ID: 886958 Za ispravke kontaktirajte CROSBI podršku putem web obrasca
Naslov
In-Situ Monitoring of Etching and Deposition Processes for Optoelectronic Device Fabrication
Autori
Hu, E. L. ; Babić, D. I. ; Skidmore, J. A. ; Strand, T. ; Schramm, J.
Vrsta, podvrsta i kategorija rada
Radovi u zbornicima skupova, cjeloviti rad (in extenso), znanstveni
Izvornik
Proceedings of the IEEE Lasers and Electro-Optics Society 1992 Annual Meeting, paper AOD 1.2
/ - , 1992
Skup
IEEE Lasers and Electro-Optics Society 1992 Annual Meeting
Mjesto i datum
Boston (MA), Sjedinjene Američke Države, 16.11.1992. - 19.11.1992
Vrsta sudjelovanja
Pozvano predavanje
Vrsta recenzije
Međunarodna recenzija
Ključne riječi
Depositio ; Optoelectronic ; Devices ; Fabrication
Sažetak
In-Situ Monitoring of Etching and Deposition Processes for Optoelectronic Device Fabrication
Izvorni jezik
Engleski
