Pretraga

Pretražite po imenu i prezimenu autora, mentora, urednika, prevoditelja

Napredna pretraga

Pregled bibliografske jedinice broj: 886173

Reactive ion etcher self‐bias voltage regulator

Schramm, Jeff E.; Babić, Dubravko I.; Hu, Evelyn L.; Merz, James L.
Reactive ion etcher self‐bias voltage regulator // Journal of vacuum science & technology. A, 11 (1993), 5; 2858-2859 doi:10.1116/1.578655 (međunarodna recenzija, članak, znanstveni)

CROSBI ID: 886173 Za ispravke kontaktirajte CROSBI podršku putem web obrasca

Naslov
Reactive ion etcher self‐bias voltage regulator

Autori
Schramm, Jeff E. ; Babić, Dubravko I. ; Hu, Evelyn L. ; Merz, James L.

Izvornik
Journal of vacuum science & technology. A (0734-2101) 11 (1993), 5; 2858-2859

Vrsta, podvrsta i kategorija rada
Radovi u časopisima, članak, znanstveni

Ključne riječi
Voltage regulator

Sažetak
Xx

Izvorni jezik
Engleski



POVEZANOST RADA

Profili:

Avatar Url Dubravko Babić (autor)

Poveznice na cjeloviti tekst rada:

doi

Citiraj ovu publikaciju:

Schramm, Jeff E.; Babić, Dubravko I.; Hu, Evelyn L.; Merz, James L.
Reactive ion etcher self‐bias voltage regulator // Journal of vacuum science & technology. A, 11 (1993), 5; 2858-2859 doi:10.1116/1.578655 (međunarodna recenzija, članak, znanstveni)
Schramm, J., Babić, D., Hu, E. & Merz, J. (1993) Reactive ion etcher self‐bias voltage regulator. Journal of vacuum science & technology. A, 11 (5), 2858-2859 doi:10.1116/1.578655.
@article{article, author = {Schramm, Jeff E. and Babi\'{c}, Dubravko I. and Hu, Evelyn L. and Merz, James L.}, year = {1993}, pages = {2858-2859}, DOI = {10.1116/1.578655}, keywords = {Voltage regulator}, journal = {Journal of vacuum science and technology. A}, doi = {10.1116/1.578655}, volume = {11}, number = {5}, issn = {0734-2101}, title = {Reactive ion etcher self‐bias voltage regulator}, keyword = {Voltage regulator} }
@article{article, author = {Schramm, Jeff E. and Babi\'{c}, Dubravko I. and Hu, Evelyn L. and Merz, James L.}, year = {1993}, pages = {2858-2859}, DOI = {10.1116/1.578655}, keywords = {Voltage regulator}, journal = {Journal of vacuum science and technology. A}, doi = {10.1116/1.578655}, volume = {11}, number = {5}, issn = {0734-2101}, title = {Reactive ion etcher self‐bias voltage regulator}, keyword = {Voltage regulator} }

Časopis indeksira:


  • Current Contents Connect (CCC)
  • Web of Science Core Collection (WoSCC)
    • SCI-EXP, SSCI i/ili A&HCI
  • Scopus

Citati:

    Altmetrijski pokazatelji:


    Podijeli:





    Contrast
    Increase Font
    Decrease Font
    Dyslexic Font
    CROSBI koristi kolačiće (cookies) kako bi poboljšao funkcionalnost stranice.