Pregled bibliografske jedinice broj: 84564
Planarni proces i mikrolitografija
Planarni proces i mikrolitografija // 8. znanstveno-stručni simpozij Intergrafika ’85. : Zbornik radova / Lovreček, Mladen (ur.).
Zagreb: Viša grafička škola, 1985. str. 109-122 (predavanje, nije recenziran, cjeloviti rad (in extenso), stručni)
CROSBI ID: 84564 Za ispravke kontaktirajte CROSBI podršku putem web obrasca
Naslov
Planarni proces i mikrolitografija
(Planar proces and microlithography)
Autori
Mileusnić, Nada ; Sinovčević, Renata ; Gojo, Miroslav
Vrsta, podvrsta i kategorija rada
Radovi u zbornicima skupova, cjeloviti rad (in extenso), stručni
Izvornik
8. znanstveno-stručni simpozij Intergrafika ’85. : Zbornik radova
/ Lovreček, Mladen - Zagreb : Viša grafička škola, 1985, 109-122
Skup
Znanstveno-stručni simpozij Intergrafika (8 ; 1985)
Mjesto i datum
Zagreb, Jugoslavija, 26.04.1985. - 30.04.1985
Vrsta sudjelovanja
Predavanje
Vrsta recenzije
Nije recenziran
Ključne riječi
fotorezist; mikrolitografija; planarni proces
(photoresist; microlithographia; planar porcess)
Sažetak
Mirkolitografija je jedan od najvažnijih procesa u poluvodičkoj tehnologiji. Rešetke se realiziraju u dva osnovna stupnja. U prvom stupnju slika se generira u filmu rezista nanešenom na silicijevu pločicu, a u drugom stupnju se tehnologijom jetkanja prenosi na površinu silicija ili nanešenoh metala. U ovom radu obrađeni su fotorezisti ipriprema filmova na bazi fotorezista kao itehnike osvjetljavanja, razvijanja i jetkanja
Izvorni jezik
Hrvatski
