Pregled bibliografske jedinice broj: 76029
Modeliranje debljine slojeva pripravljenih kružnim planarnim magnetronom
Modeliranje debljine slojeva pripravljenih kružnim planarnim magnetronom, 2002., diplomski rad, Prirodoslovno-matematički fakultet, Zagreb
CROSBI ID: 76029 Za ispravke kontaktirajte CROSBI podršku putem web obrasca
Naslov
Modeliranje debljine slojeva pripravljenih kružnim planarnim magnetronom
(Modelling of thickness distribution for films prepared by circular planar magnetron)
Autori
Srzić, Mladen
Vrsta, podvrsta i kategorija rada
Ocjenski radovi, diplomski rad
Fakultet
Prirodoslovno-matematički fakultet
Mjesto
Zagreb
Datum
14.02
Godina
2002
Stranica
50
Mentor
Radić, Nikola
Ključne riječi
magnetronsko rasprašenje; tanki filmovi; raspodjela debljine; modeliranje
(magnetron sputtering; thin films; thickness distribution; modelling)
Sažetak
... Formuliran je model procesa narastanja sloja u kružnom planarnom magnetronu s mogućnošću variranja svih važnijih parametara koji utječu na proces narastanja tankog sloja, te na osnovu njega napravljen kompjuterski program u Fortranu s grafičkim sučeljem, koje omogućava jednostavan uvid u utjecaj pojedinih parametara na proces narastanja tankog sloja. ...
Izvorni jezik
Hrvatski
Znanstvena područja
Fizika
POVEZANOST RADA
