Pregled bibliografske jedinice broj: 65819
Mjerenje debljine tankih slojeva elipsometrijskom metodom
Mjerenje debljine tankih slojeva elipsometrijskom metodom // Proceedings of the International Conference MATRIB 99 / Ivušić, Vinko (ur.).
Zagreb: Hrvatsko društvo za materijale i tribologiju (HDMT), 1999. str. 347-353 (predavanje, domaća recenzija, cjeloviti rad (in extenso), znanstveni)
CROSBI ID: 65819 Za ispravke kontaktirajte CROSBI podršku putem web obrasca
Naslov
Mjerenje debljine tankih slojeva elipsometrijskom metodom
(Measurement of Thin Films by Ellipsometry Method)
Autori
Runje, Biserka ; Mahović, Sanjin
Vrsta, podvrsta i kategorija rada
Radovi u zbornicima skupova, cjeloviti rad (in extenso), znanstveni
Izvornik
Proceedings of the International Conference MATRIB 99
/ Ivušić, Vinko - Zagreb : Hrvatsko društvo za materijale i tribologiju (HDMT), 1999, 347-353
Skup
International Conference MATRIB 99
Mjesto i datum
Trogir, Hrvatska, 27.05.1999. - 28.05.1999
Vrsta sudjelovanja
Predavanje
Vrsta recenzije
Domaća recenzija
Ključne riječi
elipsometrija; tanki sloj; baždarni etaloni hrapavosti
(ellypsometry; thin film; roughness reference standards)
Sažetak
U radu je primijenjena elipsometrijska metoda mjerenja debljine sloja SiO2 u sustavu okolina-SiO2-Si, primjenom reflektirajućeg elipsometra AUTOEL-III. Mjerenja su izvršena na osam baždarnih etalona hrapavosti Laboratorija za precizna mjerenja dužina (LFSB), u cilju određivanja dubina brazde i ocjene homogenosti pokrovnog sloja SiO2.
Izvorni jezik
Hrvatski
Znanstvena područja
Strojarstvo
