Naslov
Primjena laserski proizvedene plazme kao izvora u EUV litografiji
(Application of laser produced plasma as a source in EUV lithography)

Autori
Rašić, Denis

Vrsta, podvrsta i kategorija rada
Ocjenski radovi, diplomski rad, preddiplomski

Fakultet
Fakultet elektrotehnike i računarstva

Mjesto
Zagreb

Datum
09.07

Godina
2013

Stranica
33

Mentor
Pleslić, Sanda

Ključne riječi
Plazma; laserski proizvedena plazma; litografija; EUV litografija
(Plasma; laser produced plasma; lithography; EUV lithography)

Sažetak
U ovom radu opisana je plazma općenito, njena svojstva i parametri kojima je karakteriziramo. Razmatrana je laserski proizvedena plazma u eksperimentu s nanosekundnim impulsima dušikovog lasera na metama od različitih materijala te napravljena usporedba s numeričkim modeliranjem međudjelovanja laserskog snopa s materijalom mete. Objašnjen je postupak litografije koji ima primjenu u elektronici, a poseban naglasak je stavljen na EUV litografiju. Opisana je primjena laserski proizvedene plazme kao izvora za EUV litografiju. Uočeni su problemi koji nastaju primjenom LPP u EUVL sustavima te ukazani načini za njihovo uklanjanje.

Izvorni jezik
Hrvatski

Znanstvena područja
Elektrotehnika

POVEZANOST RADA