Naslov
Razvoj etalona hrapavosti za nanomjeriteljstvo
(Development of roughness standard for nanometrology)

Autori
Baršić, Gorana

Vrsta, podvrsta i kategorija rada
Ocjenski radovi, doktorska disertacija

Fakultet
Fakultet strojarstva i brodogradnje

Mjesto
Zagreb

Datum
10.05

Godina
2011

Stranica
145

Mentor
Mahović, Sanjin

Ključne riječi
etaloni hrapavosti; nanomjeriteljstvo; obnovljivost; mjerno jedinstvo
(roughness standards; nanometrology; reproducibility;)

Sažetak
U Laboratoriju za precizna mjerenja dužina (LFSB) 1986. godine razvijeni su referentni etaloni hrapavosti. Tijekom godina višestruko je potvrđivana izuzetna razina kvalitete mjeriteljskih značajki tih etalona. Međutim, posebice u zadnjem desetljeću, ostvaren je značajan razvoj nanotehnologije, a time i razvoj nove mjerne opreme za provođenje mjerenja na nanometarskoj skali. Postojeći etaloni LFSB-a glede dimenzija, tehnologije izrade te mjeriteljskih značajki ne mogu u punoj mjeri osigurati mjeriteljske zahtjeve u nano području. S tim u svezi, LFSB je 2008. godine pokrenuo EURAMET Projekt 1012 Limitations of measuring methods for the depth of the groove u suradnji s Nacionalnim mjeriteljskim institutima Italije i Egipta. Cilj Projekta bio je utvrditi eventualna ograničenja u postupku mjerenja dubine brazde na referentnim etalonima LFSB-a, koristeći različitu suvremenu mjeriteljsku opremu. Usporedno provedena je detaljna analiza mjeriteljskih značajki etalona koji se danas koriste u području mikro i nanomjeriteljstva. U disertaciji je, temeljem rezultata ostvarenih unutar EURAMET Projekta 1012 i nalaza istraživanja značajki etalona, predložen novi model referentnog etalona. Etalon je fizički realiziran u suradnji s tvrtkom MicroMasch i Institutom Ruđer Bošković. Komparativna prednost razvijenog etalona prema ostalim etalonima u području nanomjeriteljstva jest činjenica da je razvijeni etalon mjerljiv na gotovo cjelokupnoj mjernoj opremi u navedenom području. Time su se osigurali uvjeti za utvrđivanje obnovljivosti rezultata ostvarenih različitim mjernim metodama. Jedan od ciljeva ovog rada je i smanjenje mjerne nesigurnosti u postupku mjerenja dubine brazde interferencijskom metodom u LFSB-u. Iz tog razloga u LFSB-u je provedena modifikacija interferencijskog mikroskopa Epival-Interphako kojim je značajno povećana točnost i preciznost mjernog sustava. Proračunom mjerne nesigurnosti u postupku mjerenja dubine brazde novih etalona na modificiranom interferencijskom mikroskopu ostvarena je očekivana razina mjerne nesigurnosti u iznosu od U = 0, 9 nm ; k = 2 ; P = 95 %.

Izvorni jezik
Hrvatski

Znanstvena područja
Strojarstvo

POVEZANOST RADA