Pregled bibliografske jedinice broj: 45400
Mogućnosti primjene polisilicijskih slojeva u disipativnim elementima
Mogućnosti primjene polisilicijskih slojeva u disipativnim elementima, 1996., diplomski rad, Fakultet elektrotehnike i računarstva, Zagreb
CROSBI ID: 45400 Za ispravke kontaktirajte CROSBI podršku putem web obrasca
Naslov
Mogućnosti primjene polisilicijskih slojeva u disipativnim elementima
(Possible applications of polysilicon layers in disipative elements)
Autori
Grgec, Dalibor
Vrsta, podvrsta i kategorija rada
Ocjenski radovi, diplomski rad
Fakultet
Fakultet elektrotehnike i računarstva
Mjesto
Zagreb
Datum
15.02
Godina
1996
Stranica
85
Mentor
Biljanović, Petar
Ključne riječi
polisilicij; aluminij nitrid; zrna; kemijska depozicija; polisilicijski otpornik; električko vođenje; toplinska stabilnost; prijenos topline; toplinski otpor
(polysilicon; aluminium nitride; granules; chemical deposition; polysilicon resistor; electrical conducting; thermal stability; heat transfer; thermal resistivity)
Sažetak
Opisan je utjecaj degeneracije na svojstva polisilicijskih slojeva dobivenih CVD i LPCVD postupcima. Posebno je razmotren temperaturni koeficijent otpora u širokom temperaturnom području. Analiziran je utjecaj debljine sloja polisilicija na njegova električka svojstva kao što su otpor sloja, temperaturni koeficijent otpora i strujna opterećenja. Uz pretpostavljen rast sloja polisilicija na podlozi od AlN analizirano je odvođenje topline u podlogu od metala. Procijenjene su maksimalne moguće disipacije topline polisilicijskih slojeva na AlN spojenih na ploče od aluminija, bakra i ostalih metala
Izvorni jezik
Hrvatski
Znanstvena područja
Elektrotehnika
