Pregled bibliografske jedinice broj: 440872
TOF ERDA – dubinsko profiliranje površinskih slojeva teškim ionima
TOF ERDA – dubinsko profiliranje površinskih slojeva teškim ionima // Knjiga sažetaka / Buljan, Hrvoje ; Horvatić, Davor (ur.).
Zagreb: Hrvatsko fizikalno društvo, 2009. (predavanje, nije recenziran, sažetak, znanstveni)
CROSBI ID: 440872 Za ispravke kontaktirajte CROSBI podršku putem web obrasca
Naslov
TOF ERDA – dubinsko profiliranje površinskih slojeva teškim ionima
(TOF ERDA- depth profiling of surface layers by heavy ions)
Autori
Siketić, Zdravko ; Bogdanović Radović, Ivančica ; Jakšić, Milko
Vrsta, podvrsta i kategorija rada
Sažeci sa skupova, sažetak, znanstveni
Izvornik
Knjiga sažetaka
/ Buljan, Hrvoje ; Horvatić, Davor - Zagreb : Hrvatsko fizikalno društvo, 2009
ISBN
978-953-7178-12-3
Skup
6. znanstveni sastanak Hrvatskog fizikalnog društva
Mjesto i datum
Primošten, Hrvatska, 08.10.2009. - 11.10.2009
Vrsta sudjelovanja
Predavanje
Vrsta recenzije
Nije recenziran
Ključne riječi
TOF ERDA; teški ioni; nanometri; tanki slojevi
(TOF ERDA; heavy ions; nanometers; thin layers)
Sažetak
Time of flight (TOF) Elastic Recoil Detection Analysis (ERDA) je spektroskopska metoda za određivanje dubinskih profila i koncentracija elemenata u površinskim dijelovima uzoraka. Analiza se bazira na zračenju uzorka snopom teških iona (Cl, I, Au..), te koincidentnoj detekciji vremena proleta i energije izbijenih atoma iz mete. Vremenski/energijski spektar pojedine vrste atoma se pretvara u dubinski profil korištenjem poznatog gubitka energije po jedinici puta u materijalu. Zbog velike zaustavne moći, ulaznih i izlaznih iona, ova metoda ima razlučivost od nekoliko nm pri samoj površini za ugljik, dušik ili kisik. TOF-ERDA spektrometar je instaliran na Tandem Van de Graaff akceleratoru IRB-a, te se sastoji od dvije vremenske stanice (L=523 mm) za mjerenje vremena proleta, te poluvodičkog čestičnog detektora za određivanje energije. Prilikom prolaska atoma kroz tanku ugljikovu foliju (10 nm) emitiraju se elektroni koji služe za okidanje vremenskog start i stop signala. Dizajn vremenske stanice napravljen je prema Ref. [1], gdje se kao pojačalo elektrona koristi Microchannel Plate (MCP) detektor. Jedan od nedostataka ovakvog spektrometra je mala efikasnost detekcije za vodik. Efikasnost za vodik je značajno povećana naparivanjem dobrog elektronskog emitera LiF na ugljikovu foliju. Postignuto povećanje efikasnosti je 2 do 3 puta i ovisno je o energiji izbijenih atoma vodika. Također će biti prikazane karakteristike TOF ERDA sistema (vremenska, masena, dubinska rezolucija te efikasnost). Ujedno će biti pokazani nedavno mjereni dubinski profili AlN/TiN slojeva (20 nm) mjereni 25 MeV I ionima.
Izvorni jezik
Hrvatski
Znanstvena područja
Fizika
POVEZANOST RADA
Projekti:
098-1191005-2876 - Procesi interakcije ionskih snopova i nanostrukture (Jakšić, Milko, MZOS ) ( CroRIS)
Ustanove:
Institut "Ruđer Bošković", Zagreb
