Pregled bibliografske jedinice broj: 39874
Mesh Structure Adjustment in 2D Simulation of VLSI Super Self-Aligned Si Bipolar Transistor
Mesh Structure Adjustment in 2D Simulation of VLSI Super Self-Aligned Si Bipolar Transistor // 1999 IEEE Africon
Cape Town, Južnoafrička Republika, 1999. str. 1167-1172 (predavanje, međunarodna recenzija, cjeloviti rad (in extenso), znanstveni)
CROSBI ID: 39874 Za ispravke kontaktirajte CROSBI podršku putem web obrasca
Naslov
Mesh Structure Adjustment in 2D Simulation of VLSI Super Self-Aligned Si Bipolar Transistor
Autori
Suligoj, Tomislav ; Biljanović, Petar
Vrsta, podvrsta i kategorija rada
Radovi u zbornicima skupova, cjeloviti rad (in extenso), znanstveni
Izvornik
1999 IEEE Africon
/ - , 1999, 1167-1172
Skup
1999 IEEE Africon, 5Čth Africon Conference in Africa
Mjesto i datum
Cape Town, Južnoafrička Republika, 28.09.1999. - 01.10.1999
Vrsta sudjelovanja
Predavanje
Vrsta recenzije
Međunarodna recenzija
Ključne riječi
fabrication process; super self-aligned silicon bipolar transistor; 2D simulation program; simulation mesh
Sažetak
A fabrication process of high-speed, deep-trench, double polysilicon super self-aligned silicon bipolar transistor is simulated by 2D simulation program, assuming 0,25 *m design rules. The effect of simulation mesh on doping profiles of intrinsic and extrinsic transistor, deposited layers and electrical characteristics simulation model are analyzed.
Izvorni jezik
Engleski
Znanstvena područja
Elektrotehnika
POVEZANOST RADA
Projekti:
036001
Ustanove:
Fakultet elektrotehnike i računarstva, Zagreb
Profili:
Petar Biljanović
(autor)