Naslov
Spektroskopska karakterizacija RF-plazme metana
(Spectroscopic characterization of methane RF-plasma)

Autori
Bišćan, Marijan

Vrsta, podvrsta i kategorija rada
Ocjenski radovi, diplomski rad

Fakultet
Prirodoslovno-matematički fakultet

Mjesto
Zagreb

Datum
29.04

Godina
2009

Stranica
63

Mentor
Milošević, Slobodan

Ključne riječi
optička emisijska spektroskopija; induktivno vezana plazma; metan; tanki filmovi
(optical emission spectroscopy; inductively coupled plasma; methane; thin films)

Sažetak
U ovom radu istraživana su svojstva hladne metanove i hladne kisikove plazme pomoću emisijske spektroskopije. Tlak metana bio je u rasponu od 25 do 100 Pa, a prenesena snaga bila je 200 W. Opaženi su spektri atomarnog (Balmerova serija) i molekularnog (Fulcherova vrpca) vodika te kisika (O2 i O2+) , molekularne vrpce CH (A 2Δ - X 2Π ) na 431 nm, CN na 388 nm, CO (Angströmova vrpca) na 450 - 660 nm te OH (A-X) na 309 nm. Simulacije molekularnog prijelaza CH (A-X) pokazale su da je rotacijska temperatura 1500 K, a vibracijska 3000 K te da su obje veće od temperature plina (300 K). Metanska plazma uzrokuje stvaranje ugljikovodičnih slojeva na površini stakla što je promatrano transmisijskom spektroskopijom. Mjerenja na višem tlaku metana dala su manje intenzivan spektar te sporije naparavanje. Prisutstvo dušika također je usporavalo stvaranje tankih slojeva. Čišćenje naparenih slojeva plazmom kisika najuspješnije je bilo na najnižem promatranom tlaku od 30 Pa. Nizak tlak kisika odgovara jako reaktivnoj plazmi što znači da je čišćenje kemijski, a ne mehanički proces. Debljina naparenih slojeva procijenjena je pomoću refleksijske spektroskopije i dala je vrijednosti od 500 nm do 4.5 μ m ovisno o temperaturi supstrata i trajanju naparavanja. Na nižim temperaturama slojevi su pokazali periodička sinusiodalna izvijanja. Za veće temperature i duža naparavanja, došlo je do jačih deformacija, odvajanja od podloge (stakla) te ponegdje pucanja naparenog filma.

Izvorni jezik
Engleski

Znanstvena područja
Fizika

POVEZANOST RADA