Naslov
Određivanje debljine tankih polimernih filmova uz pomoć rezonatora i FIB/SEM analize
(Thin film thickness estimation by means of a resonator and the FIB/SEM analysis)

Autori
Haramina, Tatjana

Izvornik
Polimeri : � asopis za plastiku i gumu (0351-1871) 29 (2008), 2; 152-156

Vrsta, podvrsta i kategorija rada
Radovi u časopisima, članak, znanstveni

Ključne riječi
tanki polimerni film; rezonator; FIB/SEM; debljina
(thin polymer film; resonator; FIB/SEM; thickness)

Sažetak
Tankim filmovima se smatraju oni filmovi čija se svojstva uslijed reducirane debljine razlikuju od svojstava u bulk* sustavima. Kod polimernih filmova jedan od uzroka različitih svojstava je preferirana orijentacija bočnih lanaca na sučeljima, što uzrokuje i razliku u slobodnom volumenu po presjeku. Rezultati analiza se nužno prikazuju u ovisnosti o debljini. Razlika u strukturi otežava određivanje debljine filma metodama uobičajenim za polimerne filmove kao što su elipsometrija, rendgenska difraktometrija, profilometrija i sl. U ovom radu debljina polimernog filma na podlozi od silicija određena je uz pomoć rezonatora, a rezultati su uspoređeni sa slikama dobivenim uz pomoć fokusirane ionske zrake i raster elektronskog mikroskopa, FIB/SEM analizom (engl. Focused Ion Beam/Scanning Electron Microscopy). Obje metode pokazale su se neovisnim o strukturnim nehomogenostima.

Izvorni jezik
Hrvatski

Znanstvena područja
Fizika, Strojarstvo

POVEZANOST RADA