Pregled bibliografske jedinice broj: 27538
Quantitative Analysis of a-Si1 x Cx:H Thin Films
Quantitative Analysis of a-Si1 x Cx:H Thin Films // Abstract Book / Phil Woodruff (ur.).
Birmingham, Ujedinjeno Kraljevstvo: IUVSTA, 1998. (predavanje, međunarodna recenzija, sažetak, znanstveni)
CROSBI ID: 27538 Za ispravke kontaktirajte CROSBI podršku putem web obrasca
Naslov
Quantitative Analysis of a-Si1 x Cx:H Thin Films
Autori
Gracin, Davor ; Jakšić, Milko ; Yang, C. ; Borjanović, Vesna ; Praček, Borut
Vrsta, podvrsta i kategorija rada
Sažeci sa skupova, sažetak, znanstveni
Izvornik
Abstract Book
/ Phil Woodruff - : IUVSTA, 1998
Skup
14th International Vacuum Congress (IVC-14)
Mjesto i datum
Birmingham, Ujedinjeno Kraljevstvo, 31.08.1998. - 04.09.1998
Vrsta sudjelovanja
Predavanje
Vrsta recenzije
Međunarodna recenzija
Ključne riječi
Silicon-carbide; ERD and RBS analyses
Sažetak
The amorphous hydrogenated silicon carbide thin films (a-Si1-x - Cx:H) were deposited by magnetron sputtering source onto the glass and mono-crystalline substrate. The spatial resolution of applied methods and the reliability in determination of total concentration of silicon, carbon, hydrogen and oxygen is discussed.
Izvorni jezik
Engleski
Znanstvena područja
Fizika
POVEZANOST RADA
Ustanove:
Fakultet elektrotehnike i računarstva, Zagreb,
Institut "Ruđer Bošković", Zagreb
