Pregled bibliografske jedinice broj: 27518
Analiza slojeva silicij karbida infracrvenom spektroskopijom i RBS metodom
Analiza slojeva silicij karbida infracrvenom spektroskopijom i RBS metodom // Zbornik sažetaka konferencije / Radić, Nikola (ur.).
Zagreb: Hrvatsko Vakuumsko Društvo (HVD), 1998. str. 16-16 (predavanje, nije recenziran, sažetak, znanstveni)
CROSBI ID: 27518 Za ispravke kontaktirajte CROSBI podršku putem web obrasca
Naslov
Analiza slojeva silicij karbida infracrvenom spektroskopijom i RBS metodom
(Thin films analysis of SiC by infrared spectroscopy and RBS method)
Autori
Gracin, Davor ; Jakšić, Milko ; Borjanović, Vesna
Vrsta, podvrsta i kategorija rada
Sažeci sa skupova, sažetak, znanstveni
Izvornik
Zbornik sažetaka konferencije
/ Radić, Nikola - Zagreb : Hrvatsko Vakuumsko Društvo (HVD), 1998, 16-16
Skup
5th Croatian and Slovenian vacuum conference
Mjesto i datum
Zagreb, Hrvatska, 20.05.1998
Vrsta sudjelovanja
Predavanje
Vrsta recenzije
Nije recenziran
Ključne riječi
silicij ; RBS
(silicon ; RBS)
Sažetak
Tanki filmovi silicij karbida, debljina oko 1e-6 m, formirani su magnetronskim izvorom, na staklenoj podlozi i na monokristalu silicija. Spektralna raspodjela koeficijenta apsorpcije u infracrvenom dijelu spektra je određena iz mjerenja transmitivnosti i reflektivnosti, uobičajenim postupcima. Zbog nedostatne osjetljivosti klasične RBS metode, umjesto alfa čestica energija manjih od 2 MeV, korišten je snop protona energije 3 MeV. Pri tom je kvantitativna analiza provedena pomoću simulacije eksperimentalnih spektara programom SIMNRA uz korištenje baze podataka za nuklearno elastično raspršenje.
Izvorni jezik
Hrvatski
Znanstvena područja
Fizika
POVEZANOST RADA
Ustanove:
Fakultet elektrotehnike i računarstva, Zagreb,
Institut "Ruđer Bošković", Zagreb
