Naslov
RENDGENSKA REFLEKTOMETRIJA TANKIH FILMOVA
(X-Ray Reflectometry of Thin Films)

Autori
Salamon, Krešimir ; Milat, Ognjen ; Radić, Nikola

Vrsta, podvrsta i kategorija rada
Sažeci sa skupova, sažetak, znanstveni

Izvornik
Zbornik sažetaka 13. Međunarodni sastanak Vakuumska znanost i tehnika / Radić, Nikola - Zagreb : Hrvatsko Vakuumsko Društvo (HVD), 2006, 23-24

Skup
13. Međunarodni sastanak Vakuumska znanost i tehnika

Mjesto i datum
Koprivnica, Hrvatska, 13.06.2006

Vrsta sudjelovanja
Poster

Vrsta recenzije
Domaća recenzija

Ključne riječi
Rentgenska reflektometrija; tanki filmovi
(X-ray reflectometry; thin films)

Sažetak
Istraživane su mogućnosti karakterizacije tankih filmova i slojevitih naslaga na debelim podlogama mjerenjem spektara reflektancije (XR) i difuznog raspršenja (GISAXS). U tu svrhu korištena je novoadaptirana kamera s 1-D pozicijski osjetljivim detektorom za niskokutno rendgensko raspršenje pri okrznjujućem kutu upada. Spektri reflektancije i difuznog raspršenja s površinskih naslaga sadrže informaciju o njihovim morfološkim i optičkim karakteristikama kao što su: debljina i slojevitost, homogenost sastava i konformacija slojeva, te hrapavost površine i međuslojnih granica. Za analizu su upotrebljeni uzorci raznih debljina NbGe/SiO2, te raznih sastava i debljina Ge-SiO2/Si. Nađeno je da naš eksperimantalni postav omogućuje pouzdano mjerenje varijacije homogenosti po dubini, t.j. određivanje prosječne debljine kod jednoslojne naslage (u intervalu: 1-200 nm), a kod višeslojnih naslaga - određivanje debljine i broja pojedinih slojeva (ako je mjerljiva razlika u njihovoj gustoći), i konformacija međuslojnih granica (ako je veća od njihove hrapavosti).

Izvorni jezik
Hrvatski

Znanstvena područja
Fizika

POVEZANOST RADA