Pretraga

Pretražite po imenu i prezimenu autora, mentora, urednika, prevoditelja

Napredna pretraga

Pregled bibliografske jedinice broj: 263410

Plasma capillary source

Andreić, Željko; Ellwi, S.; Kunze, H.-J.
Plasma capillary source // EUV Sources for Lithography / Bakshi, Vivek (ur.).
Bellingham (WA): SPIE Optical Engineering Press, 2006. str. 523-534

CROSBI ID: 263410 Za ispravke kontaktirajte CROSBI podršku putem web obrasca

Naslov
Plasma capillary source

Autori
Andreić, Željko ; Ellwi, S. ; Kunze, H.-J.

Vrsta, podvrsta i kategorija rada
Poglavlja u knjigama, znanstveni

Knjiga
EUV Sources for Lithography

Urednik/ci
Bakshi, Vivek

Izdavač
SPIE Optical Engineering Press

Grad
Bellingham (WA)

Godina
2006

Raspon stranica
523-534

ISBN
0819458457

Ključne riječi
EUV radiation source, plasma capillary source

Sažetak
Revijalni prikaz kapilarnih izvora EUV zračenja.

Izvorni jezik
Engleski

Znanstvena područja
Fizika



POVEZANOST RADA

Projekti:
0195052

Ustanove:
Rudarsko-geološko-naftni fakultet, Zagreb

Profili:

Avatar Url Željko Andreić (autor)

Citiraj ovu publikaciju:

Andreić, Željko; Ellwi, S.; Kunze, H.-J.
Plasma capillary source // EUV Sources for Lithography / Bakshi, Vivek (ur.).
Bellingham (WA): SPIE Optical Engineering Press, 2006. str. 523-534
Andreić, Ž., Ellwi, S. & Kunze, H. (2006) Plasma capillary source. U: Bakshi, V. (ur.) EUV Sources for Lithography. Bellingham (WA), SPIE Optical Engineering Press, str. 523-534.
@inbook{inbook, author = {Andrei\'{c}, \v{Z}eljko and Ellwi, S. and Kunze, H.-J.}, editor = {Bakshi, V.}, year = {2006}, pages = {523-534}, keywords = {EUV radiation source, plasma capillary source}, isbn = {0819458457}, title = {Plasma capillary source}, keyword = {EUV radiation source, plasma capillary source}, publisher = {SPIE Optical Engineering Press}, publisherplace = {Bellingham (WA)} }
@inbook{inbook, author = {Andrei\'{c}, \v{Z}eljko and Ellwi, S. and Kunze, H.-J.}, editor = {Bakshi, V.}, year = {2006}, pages = {523-534}, keywords = {EUV radiation source, plasma capillary source}, isbn = {0819458457}, title = {Plasma capillary source}, keyword = {EUV radiation source, plasma capillary source}, publisher = {SPIE Optical Engineering Press}, publisherplace = {Bellingham (WA)} }

Podijeli:





Contrast
Increase Font
Decrease Font
Dyslexic Font
CROSBI koristi kolačiće (cookies) kako bi poboljšao funkcionalnost stranice.