Pregled bibliografske jedinice broj: 245758
First LIGA-microstructures produced at Elettra
First LIGA-microstructures produced at Elettra // 3rd Elettra Users' Meeting
Trst, Italija, 1995. (poster, nije recenziran, neobjavljeni rad, stručni)
CROSBI ID: 245758 Za ispravke kontaktirajte CROSBI podršku putem web obrasca
Naslov
First LIGA-microstructures produced at Elettra
Autori
El-Kholi, A. ; De Carlo, F. ; Flockerzi, H. ; Mohr, J. ; Zelenika, Saša ; et al.
Vrsta, podvrsta i kategorija rada
Sažeci sa skupova, neobjavljeni rad, stručni
Skup
3rd Elettra Users' Meeting
Mjesto i datum
Trst, Italija, 04.12.1995. - 05.12.1995
Vrsta sudjelovanja
Poster
Vrsta recenzije
Nije recenziran
Ključne riječi
deep X-ray lithography; beamline design; microstructures
Sažetak
The first microstructures produced by employing deep X-ray lithography (the LIGA technique) are presented. The main features of the production technique and of the obtained micromechanical devices are illustrated.
Izvorni jezik
Engleski
Znanstvena područja
Fizika, Strojarstvo
