Pregled bibliografske jedinice broj: 245607
Compact Ultra-Precision Slits
Compact Ultra-Precision Slits // Proceedings of the 6^th International Conference of the European Society for Precision Engineering and Nanotechnology - Vol. 1 / H. Zervos (ur.).
Beč, 2006. str. 301-304 (poster, međunarodna recenzija, cjeloviti rad (in extenso), znanstveni)
CROSBI ID: 245607 Za ispravke kontaktirajte CROSBI podršku putem web obrasca
Naslov
Compact Ultra-Precision Slits
Autori
Zelenika, Saša ; Rossetti, Daniel
Vrsta, podvrsta i kategorija rada
Radovi u zbornicima skupova, cjeloviti rad (in extenso), znanstveni
Izvornik
Proceedings of the 6^th International Conference of the European Society for Precision Engineering and Nanotechnology - Vol. 1
/ H. Zervos - Beč, 2006, 301-304
Skup
6^th International Conference of the European Society for Precision Engineering and Nanotechnology
Mjesto i datum
Beč, Austrija; Baden, Austrija, 28.05.2006. - 01.06.2006
Vrsta sudjelovanja
Poster
Vrsta recenzije
Međunarodna recenzija
Ključne riječi
flexures; slits; ultra-high accuracies
Sažetak
An innovative mechanical design of a compliant compact slits system is presented. The system is compatible with a high vacuum environment and characterised by a travel range of several millimetres with concurrent nanometric accuracies.
Izvorni jezik
Engleski
Znanstvena područja
Strojarstvo
POVEZANOST RADA
