Naslov
Apsolutna kalibracija energije kapilarnog EUV izvora zračenja
(Absolute energy calibration of capillary EUV radiation source)

Autori
Andreić, Željko ; Pleslić, Sanda ; Ellwi, Samir ; Kunze, Hans-Joachim

Vrsta, podvrsta i kategorija rada
Sažeci sa skupova, sažetak, znanstveni

Izvornik
4. znanstveni sastanak Hrvatskog fizikalnog društva : Knjiga sažetaka / Kumerički, Krešimir - Zagreb, 2003, 115-115

Skup
Znanstveni sastanak Hrvatskog fizikalnog društva (4 ; 2003)

Mjesto i datum
Zagreb, Hrvatska, 13.11.2003. - 15.11.2003

Vrsta sudjelovanja
Poster

Vrsta recenzije
Domaća recenzija

Ključne riječi
ablativni kapilarni izboj; PVC; kalibracija energije
(ablative capillary discharge; PVC; energy calibration)

Sažetak
Ablativni kapilarni izboj kroz PVC kapilare je snažan izvor nekoherentnog EUV zračenja na 13, 5 nm. Prednosti ovakvog izvora su jednostavnost i kompaktnost, pri čemu se postiže svjetlina izvora usporediva s mnogo složenijim uređajima. Po prvi puta exsperimentalno je postignuta i apsolutna kalibracija energije ovakvog uređaja, što otvara novo poglavlje u istraživanju EUV izvora. Iako je princip kalibracije ukupne energije zračenja vrlo jednostavan, realizacija ovakvog mjerenja u EUV području vrlo je složena. Za kalibraciju su korištena dva uređaja slične konstrukcije. Oba za izdvajanje 13, 5 nm pojasa i kolimaciju zračenja na detektor koriste višeslojna Mo-Si zrcala u normalnom upadu, te posebno kalibriranu rendgensku fotodiodu. Usporedna mjerenja pokazuju odlično slaganje, a bilo je moguće i odrediti divergenciju snopa zračenja. Pokazuje se da je energija jednog pulsa u 13, 5 nm pojasu (3, 00± 0, 01) mJ, gustoća zračenja (0, 48± 0, 01) mJ/sr i poluširina snopa (60± 10) mrad.

Izvorni jezik
Hrvatski

Znanstvena područja
Fizika

POVEZANOST RADA