Pregled bibliografske jedinice broj: 1234606
Pretražni elektronski mikroskop u analizi tankih filmova u presjeku
Pretražni elektronski mikroskop u analizi tankih filmova u presjeku, 2017., diplomski rad, preddiplomski, Rijeka
CROSBI ID: 1234606 Za ispravke kontaktirajte CROSBI podršku putem web obrasca
Naslov
Pretražni elektronski mikroskop u analizi tankih
filmova u presjeku
(Scanning electron microscope in analysis of thin
films in cross-section)
Autori
Kisiček, Virna
Vrsta, podvrsta i kategorija rada
Ocjenski radovi, diplomski rad, preddiplomski
Mjesto
Rijeka
Datum
15.09
Godina
2017
Stranica
30
Mentor
Kavre Piltaver, Ivna
Ključne riječi
Pretražni elektronski mikroskop, sekundarni elektroni, povratno raspršeni elektroni, uzorak, elektronski top, detektor, X-zrake
(Scanning electron microscope, secundary electrons, backscatter electrons, sample, electron top, detector, x-ray)
Sažetak
Pretražni elektronski mikroskop tip je elektronskog mikroskopa kod kojeg se slika dobiva pravilnim pomicanjem snopa elektrona po površini uzorka. Razni detektori najčešće se koriste pri proučavanju topografije, kompozicije te kristalne strukture uzorka. U ovoj radnji opisala sam princip rada pretražnog elektronskog mikroskopa i njegove sastavne dijelove. Također, predstavila sam primjenu pretražnog elektronskog mikroskopa u analizi tankih filmova narastanih tehnikom depozicije atomskih slojeva. Navedeni primjeri prikazuju kako se može odrediti debljina tako pripremljenih uzoraka te kako je moguće odrediti njihov kemijski sastav.
Izvorni jezik
Hrvatski
