Pretraga

Pretražite po imenu i prezimenu autora, mentora, urednika, prevoditelja

Napredna pretraga

Pregled bibliografske jedinice broj: 81871

Depozicija tankih slojeva kružnim planarnim magnetronom Depozicija tankih slojeva kružnim planarnim magnetronom

Srzić, Mladen; Radić, Nikola
Depozicija tankih slojeva kružnim planarnim magnetronom Depozicija tankih slojeva kružnim planarnim magnetronom // Strojarstvo, 44 (2002), 3-6; 201-209 (međunarodna recenzija, članak, znanstveni)

CROSBI ID: 81871 Za ispravke kontaktirajte CROSBI podršku putem web obrasca

Naslov
Depozicija tankih slojeva kružnim planarnim magnetronom Depozicija tankih slojeva kružnim planarnim magnetronom
(Depozicija tankih slojeva kružnim planarnim magnetronom Thin film deposition by a circular planar magnetron)

Autori
Srzić, Mladen ; Radić, Nikola

Izvornik
Strojarstvo (0562-1887) 44 (2002), 3-6; 201-209

Vrsta, podvrsta i kategorija rada
Radovi u časopisima, članak, znanstveni

Ključne riječi
Magnetronsko rasprašenje; depozicija tankih slojeva; planarni magnetron; aluminij; bakar
(Magnetron sputtering; deposition of thin films; planar magnetron; aluminum; copper)

Sažetak
Proces depozicije tankih slojeva u uređaju s kružnim planarnim magnetronom opisan je analitičkim modelom, s mogućnošću parametarskog variranja svih faktora koji utječu na raspodjelu debljine sloja. Ispitano je kako se mijenja debljina sloja u ovisnosti o parametrima modela i napravljena je usporedba s eksperimentalnim podatcima za aluminij i bakar iz literature. Dobiveno je dobro slaganje eksperimentalnih i modelnih rezultata za širinu ravnog središnjeg dijela sloja, dok je slaganje u debljini tankih slojeva unutar ą15%.

Izvorni jezik
Hrvatski

Znanstvena područja
Fizika



POVEZANOST RADA

Projekti:
0098021

Ustanove:
Institut "Ruđer Bošković", Zagreb

Profili:

Avatar Url Nikola Radić (autor)

Citiraj ovu publikaciju:

Srzić, Mladen; Radić, Nikola
Depozicija tankih slojeva kružnim planarnim magnetronom Depozicija tankih slojeva kružnim planarnim magnetronom // Strojarstvo, 44 (2002), 3-6; 201-209 (međunarodna recenzija, članak, znanstveni)
Srzić, M. & Radić, N. (2002) Depozicija tankih slojeva kružnim planarnim magnetronom Depozicija tankih slojeva kružnim planarnim magnetronom. Strojarstvo, 44 (3-6), 201-209.
@article{article, author = {Srzi\'{c}, Mladen and Radi\'{c}, Nikola}, year = {2002}, pages = {201-209}, keywords = {Magnetronsko raspra\v{s}enje, depozicija tankih slojeva, planarni magnetron, aluminij, bakar}, journal = {Strojarstvo}, volume = {44}, number = {3-6}, issn = {0562-1887}, title = {Depozicija tankih slojeva kru\v{z}nim planarnim magnetronom Depozicija tankih slojeva kru\v{z}nim planarnim magnetronom}, keyword = {Magnetronsko raspra\v{s}enje, depozicija tankih slojeva, planarni magnetron, aluminij, bakar} }
@article{article, author = {Srzi\'{c}, Mladen and Radi\'{c}, Nikola}, year = {2002}, pages = {201-209}, keywords = {Magnetron sputtering, deposition of thin films, planar magnetron, aluminum, copper}, journal = {Strojarstvo}, volume = {44}, number = {3-6}, issn = {0562-1887}, title = {Depozicija tankih slojeva kru\v{z}nim planarnim magnetronom Thin film deposition by a circular planar magnetron}, keyword = {Magnetron sputtering, deposition of thin films, planar magnetron, aluminum, copper} }

Časopis indeksira:


  • Current Contents Connect (CCC)
  • Web of Science Core Collection (WoSCC)
    • Science Citation Index Expanded (SCI-EXP)
    • SCI-EXP, SSCI i/ili A&HCI
  • Scopus

Uključenost u ostale bibliografske baze podataka::


  • The INSPEC Science Abstracts series

Podijeli:





Contrast
Increase Font
Decrease Font
Dyslexic Font
CROSBI koristi kolačiće (cookies) kako bi poboljšao funkcionalnost stranice.