Pregled bibliografske jedinice broj: 74713
Profiliranje indeksa loma tankih oksidnih slojeva
Profiliranje indeksa loma tankih oksidnih slojeva // Zbornik povzetkov, 8. mednarodni znanstveni sestanek Vakuumska znanost in tehnika / Belič, Lidija (ur.).
Ljubljana: Vakuumsko društvo Slovenije, 2001. (predavanje, međunarodna recenzija, sažetak, stručni)
CROSBI ID: 74713 Za ispravke kontaktirajte CROSBI podršku putem web obrasca
Naslov
Profiliranje indeksa loma tankih oksidnih slojeva
(Profiling of the refractive index of thin oxide films)
Autori
Janicki, Vesna ; Zorc, Hrvoje
Vrsta, podvrsta i kategorija rada
Sažeci sa skupova, sažetak, stručni
Izvornik
Zbornik povzetkov, 8. mednarodni znanstveni sestanek Vakuumska znanost in tehnika
/ Belič, Lidija - Ljubljana : Vakuumsko društvo Slovenije, 2001
Skup
8. Mednarodni znanstveni sestanek Vakuumska znanost in tehnika
Mjesto i datum
Brdo, Slovenija, 23.05.2001
Vrsta sudjelovanja
Predavanje
Vrsta recenzije
Međunarodna recenzija
Ključne riječi
indeks loma; reversno oblikovanje
(refractive index; reverse engineering)
Sažetak
Modeli sinteze tankoslojnih sustava pretpostavljaju da su svi slojevi u sustavu homogenog indeksa loma. Međutim, zbog nukleacije i rasta tankog sloja, dolazi do promjena indeksa loma za vrijeme formiranja sloja. Ta je promjena najizraženija pri prvom sloju višeslojnog sustava koji graniči s amorfnom podlogom. Snimljeni su transmisijski spektri različitih oksidnih materijala u tankom sloju i izmjerene elipsometrijske funkcije na više valnih duljina i pod različitim kutovima. Analizirano je nekoliko oskidnih materijala i to: ZrO2, Y2O3, TiO2 i CeO2. Rezultati su pokazali da su dobiveni profili indeksa loma različiti za različite materijale što je protumačeno njihovim različitim načinima nukleasije i rasta
Izvorni jezik
Hrvatski
Znanstvena područja
Fizika
