Naslov
Kompaktni izvor EUV zračenja na 13.5 nm
(A compact source of EUV radiation at 13.5 nm)

Autori
Andreić, Željko ; Pleslić Sanda

Vrsta, podvrsta i kategorija rada
Sažeci sa skupova, sažetak, znanstveni

Izvornik
Treći znanstveni sastanak Hrvatskog Fizikalnog društva, Zagreb 5-7. 12. 2001, knjiga sažetaka / - Zagreb : Hrvatsko filozofsko društvo, 2001

Skup
Treći znanstveni sastanak Hrvatskog Fizikalnog društva, Zagreb 5-7. 12. 2001

Mjesto i datum
Zagreb, Hrvatska, 05.12.2001. - 07.12.2001

Vrsta sudjelovanja
Predavanje

Vrsta recenzije
Domaća recenzija

Sažetak
Ablativni kapilarni izboj moguće je uz primjenu posebnih kapilara upotrijebiti kao izvor nakoherentnog EUV zračenja u EUV području. Prednosti ovakvog izvora su jednostavnost i kompaktnost, pri ćemu se postiže svjetlina izvora usporediva sa mnogo složenijim uređajima. Nedostaci su zasada relativno mali broj pulseva, niska repeticija i prisustvo makročestica. Ablativni kapilarni izboj relativno je jednostvan eksperimentalni uređaj u kojem se kroz kapilaru u vakuumu pulsno propuštaju pulsevi jake struje. Električni izboj izaziva površinski proboj na unutarnjoj stijenki kapilare i dovodi do stvaranja plazme sa temperaturom izeđu 10-50 eV. Tako stvorena plazma ima nekoliko vaznih primjena u znanstvenim istraživanjima i mogućim tehnološkim postupcima. Kad se za materijal kapilare odabere PVC sa omekšivačem na bazi kositra, plzma ablativnog izboja postaje snažan izvor zračenja na 13.5 nm, sa vrlo malo zračenja izvan tog područja. Već u prvim pokusima dobivena je svjetlina izvora reda veličine 10 mJ/sr. Literatura [1]. Ž. Andreić, S. S. Ellwi, S. Pleslić and H.-J. Kunze, A simple XUV source at a wavelength of 13.5 nm from an ablative capillary discharge, prihvačeno (9mj 2001) u Surface Review and Letters.

Izvorni jezik
Hrvatski

Znanstvena područja
Fizika

POVEZANOST RADA