Naslov
Primjena laserski proizvedene plazme u elektronici
(Application of laser-produced plasma in electronics)

Autori
Trninić, Bojan

Vrsta, podvrsta i kategorija rada
Ocjenski radovi, diplomski rad, preddiplomski

Fakultet
Fakultet elektrotehnike i računarstva

Mjesto
Zagreb

Datum
03.07

Godina
2012

Stranica
25

Mentor
Pleslić, Sanda

Ključne riječi
Plazma; laserski proizvedena plazma; litografija
(Plasma; laser produced plasma; lithography)

Sažetak
U radu se obrađuju svojstva laserski proizvedene plazme i njezina primjena u elektronici. Svojstva laserski proizvedene plazme proučavala su se na međudjelovanju snopa dušikova lasera s čvrstom metom od silicija. Primjena laserski proizvedene plazme u elektronici opisana je pomoću nekoliko osnovnih procesa u obradi mikrodimenzionalnih površina, kao što su jetkanje i litografija.

Izvorni jezik
Hrvatski

Znanstvena područja
Elektrotehnika

POVEZANOST RADA