ࡱ> 02/ tbjbjcTcT4">>'$ 0$}L,9,eJJJ JJJJ0sJ{0J4JJJ,,J : Metoda mjerenja subnanometarskih pomaka digitalnom laserskom interferometrijom Jadranko Gladi, Zlatko Vu i, Davorin Lovri Institut za fiziku, 10 000 Zagreb, Hrvatska Razvijana je metoda za mjerenje subnanometarskih pomaka objekata digitalnom laserskom interferometrijom s ciljem in situ praenja rasta kristala superionskih vodi a na ijoj povraini tijekom rasta koegzistiraju zaobljeni i ravni dijelovi (facete  prirodna zrcala). Eksperimentalni postav sastoji se od Michelsonovog interferometra na antivibracijskom stolu (vlastite frekvencije 6 Hz, u termi ki dobro izoliranom laboratoriju na 1. katu zgrade) i CCD kamere kojom snimamo i pohranjujemo u svakoj sekundi 30 interferencijskih slika, ato omoguuje praenje rasta facete do brzina od 9,5 m/s ra unanjem promjena faze izmeu uzastopnih slika. Metoda je usavraavana mjerenjem pomaka 3 nepomi nog3 zrcala na sobnoj temperaturi. Opa~ena ograni enja u razlu ivosti metode posljedica su mehani kih i termi kih nestabilnosti. Po etno je opa~en    BP R 4 B D N ݺyeUEU4UEU!h>S66CJOJQJaJmHsHhHCJOJQJaJmHsHh>S6CJOJQJaJmHsH'hP;PhP;P6CJOJQJaJ mHsH!hP;P6CJOJQJaJ mHsHheBCJOJQJaJ mHsHhP;PCJOJQJaJ mHsHhj=CJOJQJaJ mHsH$h<hdPCJOJQJaJ$mHsHhP;PCJOJQJaJ$mHsH$h<heBCJOJQJaJ$mHsHhsCJOJQJaJ$mHsHR t$dh`a$gd/[m$$dh`a$gdSm$$a$gdeB f R l x RT&аРm]M==ht6"CJOJQJaJmHsHh_CJOJQJaJmHsHhSCJOJQJaJmHsH$hMhMCJOJQJaJmHsHh'dtCJOJQJaJmHsHhCJOJQJaJmHsHhw0zCJOJQJaJmHsHh/CJOJQJaJmHsHhsCJOJQJaJmHsHhb^CJOJQJaJmHsHh>S6CJOJQJaJmHsHhg CJOJQJaJmHsH&>dj (JTVn|~.DFprξ~nn^n^n~hu$+CJOJQJaJmHsHhCCJOJQJaJmHsHh -CJOJQJaJmHsHhsCJOJQJaJmHsHh'dtCJOJQJaJmHsHhg CJOJQJaJmHsHhw0zCJOJQJaJmHsHUh_CJOJQJaJmHsHh>S6CJOJQJaJmHsHhHCJOJQJaJmHsH izra~en mehani ki aum frekvencije 6 Hz i amplitude nekoliko nm, termi ki aum (velikog frekventnog raspona znatno ni~ih frekvencija) 5-10 puta vee amplitude, te dugovalni aperiodi ni termi ki aum amplitude nekoliko interferencijskih pruga na sat. Prikazani su postupci kojima je smanjena amplituda mehani kog auma od 6 Hz na manje od 0.5 nm, te bitno smanjen spori termi ki aum (uslijed temperaturnih fluktuacija vrijednosti indeksa loma zraka). Preostali mehani ki aum lako je uklonjiv filtriranjem u frekventnom spektru. Metoda je dodatno ba~darena mjerenjem pomaka piezoelektri nog elementa u ovisnosti o frekvenciji i amplitudi pobude. Uo ena su i prikazana ograni enja metode u stvarnim mjernim uvjetima, s naglaskom na postizanje dugotrajne stabilnosti (dulje od 1 sata) i subnanometarske razlu ivosti mjerenja pomaka. x6Nrt$heBhXDCJOJQJaJmHsHhHCJOJQJaJmHsHh},CJOJQJaJmHsHhCJOJQJaJmHsHh|?-CJOJQJaJmHsHhsCJOJQJaJmHsHhcCJOJQJaJmHsH21h:pdP/ =!"#$% j 666666666vvvvvvvvv666666>6666666666666666666666666666666666666666666666666hH6666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666662 0@P`p2( 0@P`p 0@P`p 0@P`p 0@P`p 0@P`p 0@P`p8XV~ OJPJQJ_HmH nH sH tH J`J dPNormal dCJ_HaJmH sH tH >A > Zadani font odlomkaViV 0Obi na tablica4 l4a .k . 0 Bez popisa PK![Content_Types].xmlj0Eжr(΢Iw},-j4 wP-t#bΙ{UTU^hd}㨫)*1P' ^W0)T9<l#$yi};~@(Hu* Dנz/0ǰ $ X3aZ,D0j~3߶b~i>3\`?/[G\!-Rk.sԻ..a濭?PK!֧6 _rels/.relsj0 }Q%v/C/}(h"O = C?hv=Ʌ%[xp{۵_Pѣ<1H0ORBdJE4b$q_6LR7`0̞O,En7Lib/SeеPK!kytheme/theme/themeManager.xml M @}w7c(EbˮCAǠҟ7՛K Y, e.|,H,lxɴIsQ}#Ր ֵ+!,^$j=GW)E+& 8PK!Ptheme/theme/theme1.xmlYOo6w toc'vuر-MniP@I}úama[إ4:lЯGRX^6؊>$ !)O^rC$y@/yH*񄴽)޵߻UDb`}"qۋJחX^)I`nEp)liV[]1M<OP6r=zgbIguSebORD۫qu gZo~ٺlAplxpT0+[}`jzAV2Fi@qv֬5\|ʜ̭NleXdsjcs7f W+Ն7`g ȘJj|h(KD- dXiJ؇(x$( :;˹! I_TS 1?E??ZBΪmU/?~xY'y5g&΋/ɋ>GMGeD3Vq%'#q$8K)fw9:ĵ x}rxwr:\TZaG*y8IjbRc|XŻǿI u3KGnD1NIBs RuK>V.EL+M2#'fi ~V vl{u8zH *:(W☕ ~JTe\O*tHGHY}KNP*ݾ˦TѼ9/#A7qZ$*c?qUnwN%Oi4 =3ڗP 1Pm \\9Mؓ2aD];Yt\[x]}Wr|]g- eW )6-rCSj id DЇAΜIqbJ#x꺃 6k#ASh&ʌt(Q%p%m&]caSl=X\P1Mh9MVdDAaVB[݈fJíP|8 քAV^f Hn- "d>znNJ ة>b&2vKyϼD:,AGm\nziÙ.uχYC6OMf3or$5NHT[XF64T,ќM0E)`#5XY`פ;%1U٥m;R>QD DcpU'&LE/pm%]8firS4d 7y\`JnίI R3U~7+׸#m qBiDi*L69mY&iHE=(K&N!V.KeLDĕ{D vEꦚdeNƟe(MN9ߜR6&3(a/DUz<{ˊYȳV)9Z[4^n5!J?Q3eBoCM m<.vpIYfZY_p[=al-Y}Nc͙ŋ4vfavl'SA8|*u{-ߟ0%M07%<ҍPK! ѐ'theme/theme/_rels/themeManager.xml.relsM 0wooӺ&݈Э5 6?$Q ,.aic21h:qm@RN;d`o7gK(M&$R(.1r'JЊT8V"AȻHu}|$b{P8g/]QAsم(#L[PK-![Content_Types].xmlPK-!֧6 +_rels/.relsPK-!kytheme/theme/themeManager.xmlPK-!Ptheme/theme/theme1.xmlPK-! ѐ' theme/theme/_rels/themeManager.xml.relsPK] '"  &t t T  # AA@0(  B S  ?)m&)&&)$SA<g z"t6"u$+},|?-/>S6CP;PbV/[^d`j'dtw0zeBM_c -dPAsb^t/j=XDHC')@&&&&4'pp p pUnknownG* Times New Roman5Symbol3. * Arial7.{ @CalibriACambria Math"h3F3F &  !r0$$2HX  $PeB2!xxJadranko GladicJGOh+'0  4 @ L Xdlt|Jadranko Gladic Normal.dotmJG2Microsoft Office Word@^в@8̵@s@s՜.+,0 hp|  IF $  NaslovTitle  !"#$%&()*+,-.1Root Entry F {s31TableWordDocument4"SummaryInformation(DocumentSummaryInformation8'CompObj  F0Dokument programa Microsoft Office Word 97-2003 MSWordDocWord.Document.89q