Naslov
Paramagnetski defekti u elementalnim poluvodičima i njihovim slitinama
(Paramagnetic defects in elemental semiconductors and their alloys)

Autori
Grozdanić, Danijela

Vrsta, podvrsta i kategorija rada
Ocjenski radovi, doktorska disertacija

Fakultet
Prirodoslovno-matematički fakultet

Mjesto
Zagreb

Datum
18.05

Godina
2009

Stranica
134

Mentor
Pivac, Branko ; Rakvin, Boris

Ključne riječi
defekti; amorfni silicij; vodik; germanij; strukturni defekti; termički tretman
(defects; amorphous silicon; hydrogen; germanium; structural defects; thermal treatment)

Sažetak
Amorfni silicij (a-Si) je predmet širokog opsega istraživanja već dugi niz godina zbog svojih važnih primjena u tehnologiji i zbog pogodnosti za istraživanje svojstava šire klase materijala koja ima važne tehnološke primjene. Proučavanje tehnikom EPR-a zbog svoje specifičnosti i visoke osjetljivosti daje značajan dodatni uvid u strukturna svojstva materijala u kojemu se mogu detektirati aktivni paramagnetski centri. U ovom istraživanju smo pokazali jasnu razliku u strukturnim karakteristikama između a-Si materijala proizvedenog implantacijom Si+ ionima u monokristalnu podlogu i a-Si materijala proizvedenog magnetronskim rasprašivanjem u atmosferi u radnog plina Ar. Pokazali smo da EPR spektroskopija vrlo dobro razlikuje strukturne karakteristike materijala nastalog u ovisnosti a tlaku radnog plina Ar. Rezultate EPR spektroskopije smo usporedili s rendgenskom analizom i pokazali specifićne komparativne prednosti EPR spektroskopije. Na isti način smo analizirali utjecaj temperature podloge pri depoziciji, i pokazali značajnu prednost ove tehnike u istraživanju strukturnih promjena u netretiranom materijalu kao i u materijalu odgrijavanom na povišenim temperaturama. Istražili smo nadalje utjecaj dodavanja vodika u radni plin pri depoziciji. Pokazali smo pritom da su karakteristike materijala a-Si:H formiranog magnetronskim rasprašivanjem znatno različite od ekvivalentnog materijala dobivenog CVD tehnikama i detaljno opisanog u literaturi. Najzad pokazali smo da u slitinama SiGe s velikom koncentracijom Ge ponašanje paramagnetskih defekata značajno odstupa od uobičajene slike u a-Si.

Izvorni jezik
Hrvatski

Znanstvena područja
Fizika, Kemija

POVEZANOST RADA