Naslov
GISAXS analiza tankih filmova amorfnog i nanokristaliničnog silicija
(GISAXS analysis of amorphous and nano-crystalline silicon thin films)

Autori
Juraić, Krunoslav ; Gracin, Davor ; Dubček, Pavo ; Gajović, Andreja ; Čeh, Miran ; Bernstorff, Sigrid

Vrsta, podvrsta i kategorija rada
Sažeci sa skupova, sažetak, znanstveni

Izvornik
Knjiga sažetaka 5. znanstvenog sastanka Hrvatskog fizikalnog društva / - Zagreb, 2007, 319-319

ISBN
978-953-7178-10-9

Skup
5. znanstveni sastanak Hrvatskog fizikalnog društva

Mjesto i datum
Primošten, Hrvatska, 05.10.2007. - 08.10.2007

Vrsta sudjelovanja
Poster

Vrsta recenzije
Nije recenziran

Ključne riječi
GISXS; amorfni i nanokristalnični silicij; tanki filmovi
(GISAXS; amorphous and nano-crystalline silicon; thin films)

Sažetak
Analizirana je struktura tankih filmova amorfnog i nanokristaliničcnog silicija korištenjem metode raspršenja X-zraka pod malim kutom (GISAXS - Grazing Incidence Small Angle X-ray Scattering). D GISAXS spektri snimljeni su na Austrijskoj SAXS liniji na sinhrotronu Elettra u Trstu koristeći X-zračenje energije 8 keV. Pri tome je mijenjan upadni kut X-zračenja počevši od kritičnog kuta za totalnu refleksiju kako bi se dobila informacija o strukturi kako na površini tako i u dubini filma. Tanki filmovi su modelirani kao mješavina nasumično orijentiranih nanokristala i šupljina uronjenih u amorfnu matricu. Pri tome je testirano nekoliko različitih oblika čestica (nanokristala i šupljina), te distribucija veličine čestica. Kao početne vrijednosti pri modeliranju korišteni su podaci dobiveni procjenom gustoće uzoraka na temelju optičkih mjerenja te rapodjela veličina kristalita određenih HRTEM-om (High Resolution Transmission Electron Microscopy). Podaci o veličini, distribuciji veličine čestica, te udjelu pojedinih komponenti dobiveni prilagodbom modela eksperimentalnim GISAXS rezultatima uspoređeni su sa rezultatima Raman i optičke spektroskopije.

Izvorni jezik
Hrvatski

Znanstvena područja
Fizika

POVEZANOST RADA