Pregled bibliografske jedinice broj: 317198
Korelacija između naprezanja i tvrdoće u Al-(Nb, Mo, Ta) tankim filmovima
Korelacija između naprezanja i tvrdoće u Al-(Nb, Mo, Ta) tankim filmovima // ZBORNIK POVZETKOV, 14. Mednarodni znanstveni sestanek Vakuumska znanost in tehnika / Šetina, Janez ; Kovač, Janez (ur.).
Bled: Društvo za vakuumsko tehniko Slovenije, 2007. str. 12-12 (poster, nije recenziran, sažetak, znanstveni)
CROSBI ID: 317198 Za ispravke kontaktirajte CROSBI podršku putem web obrasca
Naslov
Korelacija između naprezanja i tvrdoće u Al-(Nb, Mo, Ta) tankim filmovima
(Stress and hardness in Al-(Nb, Mo, Ta) thin films)
Autori
Car, Tihomir ; Radić, Nikola ; Čekada, Miha ; Tonejc, Anton
Vrsta, podvrsta i kategorija rada
Sažeci sa skupova, sažetak, znanstveni
Izvornik
ZBORNIK POVZETKOV, 14. Mednarodni znanstveni sestanek Vakuumska znanost in tehnika
/ Šetina, Janez ; Kovač, Janez - Bled : Društvo za vakuumsko tehniko Slovenije, 2007, 12-12
Skup
14. Mednarodni znanstveni sestanek Vakuumska znanost in tehnika
Mjesto i datum
Bled, Slovenija, 01.07.2007
Vrsta sudjelovanja
Poster
Vrsta recenzije
Nije recenziran
Ključne riječi
Al-(Nb; Mo; Ta) tanki filmovi; naprezanje; tvrdoća
(Al-(Nb; Mo; Ta) thin films; stress; hardness)
Sažetak
Tanki filmovi AlxNb1-x, AlxMo1-x, AlxTa1-x dobiveni su magnetronskom kodepozicijom na sobnoj temperaturi korištenjem uređaja za depoziciju CMS 18. Depozicija je rađena pri radnom tlaku od ~ 5 mTorr-a i sa prosječnon snagom izvora od 100 W. Struktura filmova ispitana je rentgentskom difrakcijom, i ustanovljeno je da su filmovi AlNb amorfni u području od 30% do 85% atomskog udjela aluminija, dok su potpuno kristalni filmovi Al95Nb5 i Al20Nb80. Filmovi AlMo amorfni su u području od 45% do 85% atomskog udjela aluminija, a potpuno kristalni filmovi su Al90Mo10 i Al40Mo60. Za AlTa amorfno je područje od 40% do 85% udjela aluminija, a kristalno Al95Ta5 i Al40Ta60. Kod svih binarnih slitina između granica potpuno amorfnih i kristalnih filmova nalazi se područje mješane kristalne i amorfne faze. Debljine filmova, naprezanja i mikrotvrdoće mjereni su na instrumentima Rank Taylor Hobson Form Talysurf odnosno Mitutoyo MVK-H2. Debljine uzoraka kreću se prosječno od 325 do 400 nm, ovisno o sastavu. Udio elastične energije u tvrdoći izračunat je iz Martensove metode određivanja tvrdoće. Ustanovljeno je da tvrdoća filmova linearno raste s udjelom elastične energije i porastom udjela tvrđeg elementa u kombinaciji. Suprotno, naprezanja u filmu pokazuju tendenciju opadanja kako udio elastične energije u tvrdoći raste. Također se pokazuje da je udio elastične energije to veći što je veći modul elastičnosti tvrđe komponente. Provedena analiza navodi na zaključak da se povećanjem naprezanja u filmu smanjuje udio elastične energije u tvrdoći čime se mijenja i tvrdoća.
Izvorni jezik
Engleski
Znanstvena područja
Fizika
POVEZANOST RADA
Projekti:
098-0982886-2895 - Novi amorfni i nanostrukturirani tankoslojni materijali (Radić, Nikola, MZOS ) ( CroRIS)
119-0982886-1009 - Struktura i svojstva posebnih nanomaterijala dobivenih suvremenim tehnikama (Tonejc, Antun, MZOS ) ( CroRIS)
Ustanove:
Institut "Ruđer Bošković", Zagreb,
Prirodoslovno-matematički fakultet, Zagreb
