Pregled bibliografske jedinice broj: 305694
Structural and Optical Properties of Silicon Nanocrystals Prepared by Phase Separation of Si-rich Silicon Oxide
Structural and Optical Properties of Silicon Nanocrystals Prepared by Phase Separation of Si-rich Silicon Oxide // Proceedings of the 30th MIPRO 2007 International Convention / Biljanović, P. ; Skala, K. (ur.).
Rijeka: Hrvatska udruga za informacijsku i komunikacijsku tehnologiju, elektroniku i mikroelektroniku - MIPRO, 2007. str. 40-44 (predavanje, međunarodna recenzija, cjeloviti rad (in extenso), znanstveni)
CROSBI ID: 305694 Za ispravke kontaktirajte CROSBI podršku putem web obrasca
Naslov
Structural and Optical Properties of Silicon Nanocrystals Prepared by Phase Separation of Si-rich Silicon Oxide
Autori
Ristić, Davor ; Ivanda, Mile ; Biljanović, Petar ; Žonja, Sanja ; Furić, Krešimir ; Musić, Svetozar ; Ristić, Mira ; Montagna, Maurizio ; Ferrari, Maurizio ; Righini, C.G.
Vrsta, podvrsta i kategorija rada
Radovi u zbornicima skupova, cjeloviti rad (in extenso), znanstveni
Izvornik
Proceedings of the 30th MIPRO 2007 International Convention
/ Biljanović, P. ; Skala, K. - Rijeka : Hrvatska udruga za informacijsku i komunikacijsku tehnologiju, elektroniku i mikroelektroniku - MIPRO, 2007, 40-44
Skup
30th Jubilee of the International Convention MIPRO
Mjesto i datum
Opatija, Hrvatska, 21.05.2007. - 25.05.2007
Vrsta sudjelovanja
Predavanje
Vrsta recenzije
Međunarodna recenzija
Ključne riječi
Si-rich silicon oxide; LPCVD; PVD; Raman spectroscopy
Sažetak
The Si-rich silicon oxide (SiO_x) thin films are prepared on silica substrates by low pressure chemical vapor deposition (LPCVD) method and by physical vapor deposition method (PVD). The oxygen concentration x is controlled by the ratio of the partial pressures of N_2O and SiH_4 gases in the reaction chamber. In order to induce the phase separation on SiO_2 and Si nanostructures the samples are annealed at the temperatures of 900-1000°C. The structural and optical properties of the samples are investigated by Raman spectroscopy.
Izvorni jezik
Engleski
Znanstvena područja
Fizika, Kemija, Elektrotehnika
POVEZANOST RADA
Projekti:
036-0982904-1642 - Sofisticirane poluvodičke strukture za komunikacijsku tehnologiju (Koričić, Marko, MZO ) ( CroRIS)
098-0982904-2898 - Fizika i primjena nanostruktura i volumne tvari (Ivanda, Mile, MZOS ) ( CroRIS)
098-0982904-2952 - Sinteza i mikrostruktura metalnih oksida i oksidnih stakala (Ristić, Mira, MZOS ) ( CroRIS)
Ustanove:
Fakultet elektrotehnike i računarstva, Zagreb,
Institut "Ruđer Bošković", Zagreb
Profili:
Krešimir Furić
(autor)
Mira Ristić
(autor)
Svetozar Musić
(autor)
Sanja Žonja
(autor)
Petar Biljanović
(autor)
Mile Ivanda
(autor)
Davor Ristić
(autor)