Pregled bibliografske jedinice broj: 274008
NANOKRISTALNE SLITINE SREBRA I VOLFRAMA - DVA POTPUNO NEMJEŠLJIVA METALA
NANOKRISTALNE SLITINE SREBRA I VOLFRAMA - DVA POTPUNO NEMJEŠLJIVA METALA // Zbornik sažetaka 13. Međunarodni sastanak Vakuumska znanost i tehnika / Radić, Nikola (ur.).
Zagreb: Hrvatsko Vakuumsko Društvo (HVD), 2006. str. 6-7 (predavanje, domaća recenzija, sažetak, znanstveni)
CROSBI ID: 274008 Za ispravke kontaktirajte CROSBI podršku putem web obrasca
Naslov
NANOKRISTALNE SLITINE SREBRA I VOLFRAMA - DVA POTPUNO NEMJEŠLJIVA METALA
(NANOCRYSTALLINE ALLOYS OF COMPLETELY IMMISCIBLE Ag-W SYSTEM)
Autori
Radić, Nikola ; Groetzschel, Rainer ; Skoko, Željko ; Tonejc, Antun ; Ivkov, Jovica
Vrsta, podvrsta i kategorija rada
Sažeci sa skupova, sažetak, znanstveni
Izvornik
Zbornik sažetaka 13. Međunarodni sastanak Vakuumska znanost i tehnika
/ Radić, Nikola - Zagreb : Hrvatsko Vakuumsko Društvo (HVD), 2006, 6-7
Skup
13. Međunarodni sastanak Vakuumska znanost i tehnika
Mjesto i datum
Koprivnica, Hrvatska, 13.06.2006
Vrsta sudjelovanja
Predavanje
Vrsta recenzije
Domaća recenzija
Ključne riječi
slitine; srebro; volfram; nanokristali
(Alloys; silver; tungsten; nanocrystals)
Sažetak
Metastabilne slitine Ag-W se odnedavno ispituju kao podesan materijal za metalizaciju u sub-100 nm integriranim poluvodičima. Zbog potpune nemješljivosti svojih komponenata, takve slitine se moraju pripravljati termodinamički neravnotežnim postupcima. Izložićemo rezultate ispitivanja strukture tankih filmova Ag-W pripravljenih postupkom magnetronskog rasprašenja u širokom rasponu sastava slitine. Tanki filmovi Ag-W slitina pripravljeni su kodepozicijom čistog srebra i čistog volframa iz dva nezavisno kontrolirana magnetronska izvora. Brzina depozicije na podloge (staklo, korund, safir, mono-Si) na sobnoj temperaturi bile je oko 0, 33 nm/s, a konačna debljina filma oko 0, 5 μ m. Ispitan je i utjecaj tlaka radnog plina, te dodatka kisika odnosno aluminija na strukturu slitine odabranog sastava. Kemijski sastav pripravljenih filmova određen je RBS metodom: Ustanovljeno je da stvarni sastav odstupa od nominalnog u korist volframa, i to sve više kako udio volframa u slitini raste. Struktura pripravljenih slitina ispitana je difrakcijom X-zraka: Potpuno amorfni film nije dobiven u ispitanom rasponu sastava Ag94W6-Ag12W88. Prezasićena čvrsta otopina Al(W) sa fcc strukturom formira se pri udjelu volframa <30 at.%, dok se bcc čvrsta otopina dobiva za slitine sa udjelom volframa većim od 30 at.% W. Granična koncentracija volframa koja dijeli slitine sa različitim kristalnim strukturama je znatno niža od teorijski određene u nedavnom atomističkom modeliranju Ag-W slitina (57 at.% W). Veličina zrna pripravljenih filmova jako ovisi o sastavu - nanokristalna bcc faza (zrna veličine oko 5 nm) dobiva se u slitinama sa 30-50 at.% udjelom volframa, dok veličina zrna raste prema rubovima faznog dijagrama. Ugrađivanje kisika u nanokristalne slitine dodatno smanjuje prosječnu veličinu zrna, ali se još uvijek ne postiže potpuna amorfnost.
Izvorni jezik
Hrvatski
Znanstvena područja
Fizika
