Pregled bibliografske jedinice broj: 221201
Koncentracija radikalov v kisikovi plazmi med plazemskim čišćenjem razelektritvene cevi
Koncentracija radikalov v kisikovi plazmi med plazemskim čišćenjem razelektritvene cevi // Zbornik sažetaka, 12. Međunarodni sastanak Vakuumska znanost i tehnika / Radić, Nikola (ur.).
Zagreb: Hrvatsko Vakuumsko Društvo (HVD), 2005. str. 16-16 (predavanje, nije recenziran, sažetak, znanstveni)
CROSBI ID: 221201 Za ispravke kontaktirajte CROSBI podršku putem web obrasca
Naslov
Koncentracija radikalov v kisikovi plazmi med plazemskim čišćenjem razelektritvene cevi
(Concentration of radicals within oxygen plasma during plasma cleaning of dischage tube)
Autori
Krstulović, Nikša ; Milošević, Slobodan ; Cvelbar, Uroš ; Mozetič Miran
Vrsta, podvrsta i kategorija rada
Sažeci sa skupova, sažetak, znanstveni
Izvornik
Zbornik sažetaka, 12. Međunarodni sastanak Vakuumska znanost i tehnika
/ Radić, Nikola - Zagreb : Hrvatsko Vakuumsko Društvo (HVD), 2005, 16-16
Skup
12. Međunarodni sastanak Vakuumska znanost i tehnika
Mjesto i datum
Trakošćan, Hrvatska, 18.05.2005
Vrsta sudjelovanja
Predavanje
Vrsta recenzije
Nije recenziran
Ključne riječi
plazemsko čišćenje; kisikova plazma
(plasma cleaning; oxygen plasma)
Sažetak
Prikazujemo časovni potek koncentracije radikalov v kisikovi plazmi med čiščenjem razelektritvene cevi plazemskega sistema. Osrednji del plazemskega sistema je razelektritvena cev, v kateri z radiofrekvenčnim generatorjem ustvarjamo nizkotlačno plazmo. V razelektritveni cevi smo najprej za 20 minut generirali plazmo v metanu pri tlaku 50 Pa in moči 250W. Na steni se je nabrala tanka optično vidna plast ogljikovodikov. Sistem smo izčrpali do končnega tlaka, potem pa v razelektritveni cevi generirali kisikovo plazmo. Med obdelavo cevi s kisikovo plazmo smo z optično emisijsko spektroskopijo spremljali relativno koncentracijo vodika (Hά pri 656nm), ogljikovega monoksida (vibracijski prehod pri 519nm) in kisika (atomski prehod pri 777, 4nm). Ugotovili smo, da se koncentracija radikalov prvih 25 minut čiščenja s kisikovo plazmo malo spreminja s časom, kjub temu, da je postala cev optično čista. Šele po pol ure čiščenja sta začela signala vodika in ogljikovega monoksida opazno padati, obenem pa je začela naraščati koncentracija kisikovih atomov. Po 45 minutah čiščenja je koncentracija ogljikovega monoksida padla pod detekcijsko mejo, koncentracija kisika pa je postala konstantna. Opisane raziskave so pokazale, da je optična emisijska spektroskopija plazme odličen indikator čistosti razelektritvene cevi.
Izvorni jezik
Engleski
Znanstvena područja
Fizika
