Naslov
Određivanje stupnja uređenja u tankim filmovima silicija
(Degree of structural ordering in silicon thin films)

Autori
Gracin, Davor ; Juraić, Krunoslav ; Gajović, Andreja ; Tomašić, Nenad

Vrsta, podvrsta i kategorija rada
Sažeci sa skupova, sažetak, znanstveni

Izvornik
Zbornik Sažetaka 12. Međunarodnog sastanka Vakuumska znanost i tehnika, Trakošćan 18. svibnja 2005. / Radić, Nikola - Zagreb : DVTH, 2005, 14-14

Skup
12. Međunarodni sastank Vakuumska znanost i tehnika, Trakošćan 18. svibnja 2005

Mjesto i datum
Trakošćan, Hrvatska, 18.05.2005

Vrsta sudjelovanja
Predavanje

Vrsta recenzije
Domaća recenzija

Ključne riječi
tanki filmovi silicija; nano-kristali; Ramanova spektroskopija. TEM
(Silicon thin films; nano-crystal; Raman spectroscopy; TEM)

Sažetak
Mogućnost formiranja tankog filma silicija sa visokim stupnjem uređenja na temperaturama manjim od temperature taljenja stakla pobuđuje u posljednjoj dekada sve veći interes. Tehnološka pozadina ovog interesa je mogućnost proizvodnje efikasnih optoelektroničkih naprava kao što su tankoslojne solarne ćelije, ravni ekrani i dr. Znanstveni interes je usmjeren prema istraživanju ovisnosti svojstava materijala o strukturnom uređenju koje se opet povezuje sa kinetikom rasta sloja. Tanki filmovi silicija, debljina od 100 – 1000 nm, deponirani su magnetronskim rasprašenjem u atmosferi argona i vodika i plazmom pojačanom kemijskom depozicijom iz plinske faze (PECVD). Variranjem parametara depozicije formirani su slojevi različitog stupnja uređenja koje je određivano korištenjem triju metoda – Ramanovom spektroskopijom, analizom spektralne ovisnosti dielektrične konstante uz korištenje aproksimacije efektivnog medija i difrakcijom x-zraka. Na karakterističnim primjerima filmova, kojima struktura varira od vrlo neuređene amorfne do nanokristalinične, ilustrirati će se prednosti i mane pojedinih metoda te diskutirati njihova međusobna kompatibilnost. Posebna pažnja će se posvetiti mogućnosti određivanja stupnja kristaliničnosti materijala.

Izvorni jezik
Hrvatski

Znanstvena područja
Fizika

POVEZANOST RADA