Pregled bibliografske jedinice broj: 172842
Uređaj za depoziciju tankih filmova CMS-18
Uređaj za depoziciju tankih filmova CMS-18 // Ruđer, 4 (2003), 10; 3-6 (podatak o recenziji nije dostupan, članak, ostalo)
CROSBI ID: 172842 Za ispravke kontaktirajte CROSBI podršku putem web obrasca
Naslov
Uređaj za depoziciju tankih filmova CMS-18
(CMS-18 thin films deposition system)
Autori
Radić, Nikola
Izvornik
Ruđer (1333-5693) 4
(2003), 10;
3-6
Vrsta, podvrsta i kategorija rada
Radovi u časopisima, članak, ostalo
Ključne riječi
tanki filmovi; magetronska depozicija
(thin films; magnetron deposition)
Sažetak
Sistem za pripravaljanje tankih filmova postupkom magnetronske depozicije CMS-18. ...
Izvorni jezik
Hrvatski
Znanstvena područja
Fizika
