Pregled bibliografske jedinice broj: 172835
Magnetronsko nanašanje volframskih tankih plasti
Magnetronsko nanašanje volframskih tankih plasti // Vakuumist, 23 (2003), 2/3; 17-22 (podatak o recenziji nije dostupan, članak, stručni)
CROSBI ID: 172835 Za ispravke kontaktirajte CROSBI podršku putem web obrasca
Naslov
Magnetronsko nanašanje volframskih tankih plasti
(Deposition of tungsten thin films by magnetron sputtering)
Autori
Furlan, Andrej ; Radić, Nikola
Izvornik
Vakuumist (0351-9716) 23
(2003), 2/3;
17-22
Vrsta, podvrsta i kategorija rada
Radovi u časopisima, članak, stručni
Ključne riječi
Volfram; tanke plasti; magnetronsko nanašanje; notranje napetosti
(Tungsten; thin films; magnetron sputtering; intrinsic stress)
Sažetak
Volframske tanke plasti imajo zaradi odličnih mehanskih in kemičnih lastnosti široko uporabo v imdustriji. Eden od načinov priprave volframskih tankih plasti je magnetronsko nanašanje.....
Izvorni jezik
Slv
Znanstvena područja
Fizika
