Naslov
Karakteristike kapilarnih izboja kao izvora EUV zračenja u području 10-16 nm
(Characteristics of capillary discharges as EUV radiation sources in range of 10-16 nm)

Autori
Andreić, Željko ; Pleslić, Sanda ; Ellwi, Samir ; Kunze, Hans-Joachim

Vrsta, podvrsta i kategorija rada
Sažeci sa skupova, sažetak, znanstveni

Izvornik
9. međunarodni znanstveni sastanak Vakuumska znanost i tehnika : knjiga sažetaka / - , 2002

Skup
Međunarodni znanstveni sastanak : Vakumska znanost i tehnika (9 ; 2002)

Mjesto i datum
Trakošćan, Hrvatska, 15.05.2002

Vrsta sudjelovanja
Poster

Vrsta recenzije
Međunarodna recenzija

Ključne riječi
kapilarni izboj; EUV zračenje
(capillary discharge; EUV radiation)

Sažetak
Prikazani su prvi rezultati sustavnog proučavanja ablativnog kapilarnog izvora na bazi PVC kapilara kao izvora pojasnog EUV zračenja. Pokazuje se da se promjenom vrste PVC-a od kojeg je kapilara izrađena i radnih parametara izboja može dobiti vrlo intenzivno EUV zračenje u pojasu širine oko 1 nm, s maksimumom u blizini 10, 13, 5 ili 16 nm. Ukupni intenzitet zračenja u pojasu je za oko red veličine veći nego kod ostalih izvora baziranih na plinskom izboju. Velika prednost ovakvog izvora je relativno malena količina EUV zračenja izvan samog pojasa što u tehnološkim aplikacijama može biti velika prednost jer znatno smanjuje termičko opterećenje optičkih elemenata. Zasada najveći problem je potreba za učestalom promjenom kapilara i prisustvo velikog broja makročestica u ekspandirajućoj plazmi nakon izboja.

Izvorni jezik
Hrvatski

Znanstvena područja
Fizika

POVEZANOST RADA