Pretraga

Pretražite po imenu i prezimenu autora, mentora, urednika, prevoditelja

Napredna pretraga

Pregled bibliografske jedinice broj: 109849

Predstavljanje tehnologijsko-istraživačko-razvojnog projekta: "Usavršavanje i razvoj LPCVD procesa" iz programa TEST Ministarstva znanosti i tehnologije

Ivanda, Mile; Furić, Krešimir; Biljanović, Petar; Musić, Svetozar; Gotić, Marijan; Gamulin, Ozren; Gebavi, Hrvoje
Predstavljanje tehnologijsko-istraživačko-razvojnog projekta: "Usavršavanje i razvoj LPCVD procesa" iz programa TEST Ministarstva znanosti i tehnologije // Ruđer (Zagreb. 1995), 4 (2003), 2; 3-7 (podatak o recenziji nije dostupan, prikaz, stručni)

CROSBI ID: 109849 Za ispravke kontaktirajte CROSBI podršku putem web obrasca

Naslov
Predstavljanje tehnologijsko-istraživačko-razvojnog projekta: "Usavršavanje i razvoj LPCVD procesa" iz programa TEST Ministarstva znanosti i tehnologije
(Presentation of the technological research and development project "Improvement and development of the LPCVD process" of the TEST program of the Ministry of Science and Technology)

Autori
Ivanda, Mile ; Furić, Krešimir ; Biljanović, Petar ; Musić, Svetozar ; Gotić, Marijan ; Gamulin, Ozren ; Gebavi, Hrvoje

Izvornik
Ruđer (Zagreb. 1995) (1333-5693) 4 (2003), 2; 3-7

Vrsta, podvrsta i kategorija rada
Radovi u časopisima, prikaz, stručni

Ključne riječi
LPCVD; tanki film; polisilicijski termički grijač; nanosilicijsk laser
(LPCVD; thin film; polysilicon termical heater; nanosilicon laser)

Sažetak
Rast tankih filmova kemijskom depozicijom iz plinske faze pod niskim tlakom (engl. Low Pressure Chemical Vapour Deposition, LPCVD), jedna je od najvažnijih metoda depozicije tankih filmova i predstavlja temelj modernih tehnologija. Razlozi široke primjene LPCVD metode u zadnja dva desetljeća leži prvenstveno u mogućnosti deponiranja različitih elemenata i spojeva na relativno niskim temperaturama, u obliku amorfnih i polikristalnih filmova, sa velikim stupnjem uređenosti i čistoće. Metodu karakterizira jednostavno rukovanje i održavanje, visoka pouzdanost operacija, velika brzina depozicije, uniformna debljina sloja i visoka reproducibilnost. Zbog svega toga ova je metoda našla široku primjenu kod depozicije tankih filmova u poluvodičkoj industriji. U Hrvatskoj LPCVD metoda je postojala samo u nekadašnjoj tvornici poluvodiča RIZ. Uz podršku bivših djelatnika tvornice kao i podrške Ministarstva znanosti i tehnologije, ova tehnologija je prenešena na Institut  ; Ruđer Bošković ; , gdje je usvojena i dalje usavršena. U okviru ovog rada biti će izložene osnovne postavke LPCVD metode, kao i koncepcija razvoja novih proizvoda – ; polisilicijskog termičkog grijača i nanosilicijskog lasera, temeljenih na tehnologiji depozicije tankih filmova.

Izvorni jezik
Hrvatski

Znanstvena područja
Fizika, Kemija, Elektrotehnika



POVEZANOST RADA

Projekti:
0098022
0036001
0098062
00980903

Ustanove:
Fakultet elektrotehnike i računarstva, Zagreb,
Institut "Ruđer Bošković", Zagreb

Profili:

Avatar Url Krešimir Furić (autor)

Avatar Url Svetozar Musić (autor)

Avatar Url Marijan Gotić (autor)

Avatar Url Petar Biljanović (autor)

Avatar Url Ozren Gamulin (autor)

Avatar Url Hrvoje Gebavi (autor)

Avatar Url Mile Ivanda (autor)

Poveznice na cjeloviti tekst rada:

Pristup cjelovitom tekstu rada

Citiraj ovu publikaciju:

Ivanda, Mile; Furić, Krešimir; Biljanović, Petar; Musić, Svetozar; Gotić, Marijan; Gamulin, Ozren; Gebavi, Hrvoje
Predstavljanje tehnologijsko-istraživačko-razvojnog projekta: "Usavršavanje i razvoj LPCVD procesa" iz programa TEST Ministarstva znanosti i tehnologije // Ruđer (Zagreb. 1995), 4 (2003), 2; 3-7 (podatak o recenziji nije dostupan, prikaz, stručni)
Ivanda, M., Furić, K., Biljanović, P., Musić, S., Gotić, M., Gamulin, O. & Gebavi, H. (2003) Predstavljanje tehnologijsko-istraživačko-razvojnog projekta: "Usavršavanje i razvoj LPCVD procesa" iz programa TEST Ministarstva znanosti i tehnologije. Ruđer (Zagreb. 1995), 4 (2), 3-7.
@article{article, author = {Ivanda, Mile and Furi\'{c}, Kre\v{s}imir and Biljanovi\'{c}, Petar and Musi\'{c}, Svetozar and Goti\'{c}, Marijan and Gamulin, Ozren and Gebavi, Hrvoje}, year = {2003}, pages = {3-7}, keywords = {LPCVD, tanki film, polisilicijski termi\v{c}ki grija\v{c}, nanosilicijsk laser}, journal = {Ru\djer (Zagreb. 1995)}, volume = {4}, number = {2}, issn = {1333-5693}, title = {Predstavljanje tehnologijsko-istra\v{z}iva\v{c}ko-razvojnog projekta: "Usavr\v{s}avanje i razvoj LPCVD procesa" iz programa TEST Ministarstva znanosti i tehnologije}, keyword = {LPCVD, tanki film, polisilicijski termi\v{c}ki grija\v{c}, nanosilicijsk laser} }
@article{article, author = {Ivanda, Mile and Furi\'{c}, Kre\v{s}imir and Biljanovi\'{c}, Petar and Musi\'{c}, Svetozar and Goti\'{c}, Marijan and Gamulin, Ozren and Gebavi, Hrvoje}, year = {2003}, pages = {3-7}, keywords = {LPCVD, thin film, polysilicon termical heater, nanosilicon laser}, journal = {Ru\djer (Zagreb. 1995)}, volume = {4}, number = {2}, issn = {1333-5693}, title = {Presentation of the technological research and development project "Improvement and development of the LPCVD process" of the TEST program of the Ministry of Science and Technology}, keyword = {LPCVD, thin film, polysilicon termical heater, nanosilicon laser} }

Podijeli:





Contrast
Increase Font
Decrease Font
Dyslexic Font
CROSBI koristi kolačiće (cookies) kako bi poboljšao funkcionalnost stranice.