hrvatski

POSTUPCI PREVLAČENJA POVRŠINE METALA IZ PARNE FAZE

U radu je dan pregled postupaka prevlačenja površina metala iz parne faze postupcima: • fizikalnog nanošenja prevlaka iz parne faze (PVD), • kemijskog nanošenja prevlaka iz parne faze (CVD), • plazmom potpomognutog CVD procesa, (PA-CVD). Za svaki postupak dan je opis nastanka prevlaka, razlike u svojstvima prevlaka, opisi morfologija prevlaka, te usporedba postupka prevlačenja. Ovim postupcima mogu se deponirati brojne vrste metalnih filmova i legura, a kao najvažnije prevlake danas u primjeni izdvojene su i detaljno opisane: • PVD titan-nitridne prevlake i prevlake od ugljika sličnog dijamantu, • CVD prevlake od tvrdih spojeva na osnovi titana (TiC, TiN, Ti(C, N)), prevlake od Al-oksida i prevlake od Ti-karbonitrida. Također teoretskim dijelom opisane su metode ispitivanja debljine i prionjivosti (adhezije) prevlaka dobivenih PVD, CVD i PACVD postupcima prevlačenja. U eksperimentalnom dijelu analizirani su rezultati ispitivanja tvrdoće, udarne radnje loma, hrapavosti površine, debljine i prionjivosti cVIc (TiCN+CBC) prevlake nanesene na uzorke od čelika 45S20 (Č1590).

Prevlačenje, CVD, PVD, PACVD, površinski slojevi

nije evidentirano