Mehanička svojstva Al-(Nb, Mo, Ta, W) tankih filmova (CROSBI ID 246304)
Prilog u časopisu | izvorni znanstveni rad | međunarodna recenzija
Podaci o odgovornosti
Car, Tihomir ; Radić, Nikola ; Čekada, Miha ; Panjan, Peter ; Tonejc, Anton
hrvatski
Mehanička svojstva Al-(Nb, Mo, Ta, W) tankih filmova
Tanki filmovi AlxNb1-x, AlxMo1-x, AlxTa1-x, AlxW1-x, dobiveni su magnetronskom depozicijom na sobnoj temperaturi. Struktura filmova ispitana je rendgenskim zračenjem. Kod svih kombinacija ustanovljena je amorfna i kristalna faza te područja u kojem su kristalna i amorfna faza miješane. Debljine filmova i naprezanja mjerena su na profilometru. Prosječne debljine filmova kretale su se u rasponu od 325 do 400 nm za Al-(Nb, Mo, Ta) filmove dok je kod Al-W filmova debljina bila oko 2 μm. Mikrotvrdoća je mjerena pri opterećenju 2 mN na uređaju za mjerenje mikro i nano-tvrdoće. Mikrotvrdoće AlW i AlTa filmova, u amorfnom području, više su od vrijednosti tvrđeg elementa u kombinaciji (W, Ta).
amorfne slitine ; magnetronsko raspršenje ; mikrotvrdoća ; naprezanje
nije evidentirano
engleski
Mehanical properties of Al-(Nb, Mo, Ta, W) thin films
nije evidentirano
magnetron sputtering ; microhardness, stress
nije evidentirano
