Planarni proces i mikrolitografija (CROSBI ID 484079)
Prilog sa skupa u zborniku | stručni rad
Podaci o odgovornosti
Mileusnić, Nada ; Sinovčević, Renata ; Gojo, Miroslav
hrvatski
Planarni proces i mikrolitografija
Mirkolitografija je jedan od najvažnijih procesa u poluvodičkoj tehnologiji. Rešetke se realiziraju u dva osnovna stupnja. U prvom stupnju slika se generira u filmu rezista nanešenom na silicijevu pločicu, a u drugom stupnju se tehnologijom jetkanja prenosi na površinu silicija ili nanešenoh metala. U ovom radu obrađeni su fotorezisti ipriprema filmova na bazi fotorezista kao itehnike osvjetljavanja, razvijanja i jetkanja
fotorezist; mikrolitografija; planarni proces
nije evidentirano
engleski
Planar proces and microlithography
nije evidentirano
photoresist; microlithographia; planar porcess
nije evidentirano
Podaci o prilogu
109-122.
1985.
objavljeno
Podaci o matičnoj publikaciji
8. znanstveno-stručni simpozij Intergrafika ’85. : Zbornik radova
Lovreček, Mladen
Zagreb: Viša grafička škola
Podaci o skupu
Znanstveno-stručni simpozij Intergrafika (8 ; 1985)
predavanje
26.04.1985-30.04.1985
Zagreb, Jugoslavija