Modeliranje debljine slojeva pripravljenih kružnim planarnim magnetronom (CROSBI ID 334760)
Ocjenski rad | diplomski rad
Podaci o odgovornosti
Srzić, Mladen
Radić, Nikola
hrvatski
Modeliranje debljine slojeva pripravljenih kružnim planarnim magnetronom
... Formuliran je model procesa narastanja sloja u kružnom planarnom magnetronu s mogućnošću variranja svih važnijih parametara koji utječu na proces narastanja tankog sloja, te na osnovu njega napravljen kompjuterski program u Fortranu s grafičkim sučeljem, koje omogućava jednostavan uvid u utjecaj pojedinih parametara na proces narastanja tankog sloja. ...
magnetronsko rasprašenje; tanki filmovi; raspodjela debljine; modeliranje
nije evidentirano
engleski
Modelling of thickness distribution for films prepared by circular planar magnetron
nije evidentirano
magnetron sputtering; thin films; thickness distribution; modelling
nije evidentirano
Podaci o izdanju
50
14.02.2002.
obranjeno
Podaci o ustanovi koja je dodijelila akademski stupanj
Prirodoslovno-matematički fakultet, Zagreb
Zagreb
