Mjerenje debljine tankih slojeva elipsometrijskom metodom (CROSBI ID 480004)
Prilog sa skupa u zborniku | izvorni znanstveni rad | domaća recenzija
Podaci o odgovornosti
Runje, Biserka ; Mahović, Sanjin
hrvatski
Mjerenje debljine tankih slojeva elipsometrijskom metodom
U radu je primijenjena elipsometrijska metoda mjerenja debljine sloja SiO2 u sustavu okolina-SiO2-Si, primjenom reflektirajućeg elipsometra AUTOEL-III. Mjerenja su izvršena na osam baždarnih etalona hrapavosti Laboratorija za precizna mjerenja dužina (LFSB), u cilju određivanja dubina brazde i ocjene homogenosti pokrovnog sloja SiO2.
elipsometrija; tanki sloj; baždarni etaloni hrapavosti
nije evidentirano
engleski
Measurement of Thin Films by Ellipsometry Method
nije evidentirano
ellypsometry; thin film; roughness reference standards
nije evidentirano
Podaci o prilogu
347-353-x.
1999.
objavljeno
Podaci o matičnoj publikaciji
Proceedings of the International Conference MATRIB 99
Ivušić, Vinko
Zagreb: Hrvatsko društvo za materijale i tribologiju (HDMT)
Podaci o skupu
International Conference MATRIB 99
predavanje
27.05.1999-28.05.1999
Trogir, Hrvatska
