hrvatski

Amorfni tanki filmovi

Amorfni materijali imaju niz osobina koji ih čine zanimljivim za istraživanje. Sa stanovišta primjene optimalni oblik za mnoge je tanki film, a neki se mogu i dobiti isključivo u tom obliku. Karakteristika pripravljanja amorfnih materijala u obliku tankih filmova je narastanje slaganjem atom-po-atom. Najrašireniji su postupci temeljeni na rasprašenju katoda u magnetronskim plinskim izbojima, a intezivno se razvijaju i postupci osnovani na laserskoj ablaciji materijala. Kodepozicija iz dva (ili više) magnetronskih izvora omogućava formiranje višekomponentnih metastabilnih slitina i termodinamički-ravnotežno nemješljivih materijala. Takav postupak primjenjen je za pripravljanje tankih filmova slitina aluminija i volframa u rasponu sastava od Al82W18doAl50W50, s nizom osobina zanimljivih za primjenu  1-4 . Pri reaktivnom rasprašenju komponente u plazmi ili na površini narastajućeg filma stupaju u kemijsku reakciju: tako su rasprašenjem u (Ar + benzen) atmosferi pripravljeni tanki filmovi volfram-ugljik slitina. Ispitivanja strukture i nanotvrdoće pokazuju postojanje ugljikovodičnih aglomeracija u filmovima pripravljenim s povišenim udjelom benzena u radnom plinu, koje su vjeratno uzrok slabijih mehaničkih osobina takvih filmova  5 . Postupkom reaktivnog ( Ar + H2 + benzen ) magnetronskog rasprašenja pripravljeni su slojevi amorfnih hidriranih slitina silicij-ugljik, te ispitani Ramanskom, Auger, i IR spektroskopijom, rasprašenjem X-zraka pod malim kutem, te RBS i ERDA metodom. Ustanovljene su nakupine ugljika u dijamantskoj i grafitnoj fazi, te područja manje gustoće linearnih dimenzija 1-2nm unutar sloja. Ugljik je redovito homogeno raspoređen po cijelom uzorku do nanometarskih udaljenosti, dok koncetracija vodika opada u pripovršinskom sloju. Zagrijavanje uzoraka dovodi do efuzije vodika te znatne prostorne preraspodjele ugljika, što indirektno podupire pretpostavku o postojanju strukturnih defekata u obliku polivakancija  6,7 . Za dobivanje kvalitetnih tankih filmova laserskom ablacijom metala ili nemetala važnim se pokazala geometrijska konfiguracija. Ispitivana je posebna ablacijska geometrija kapilare koaksijalne sa laserskim snopom. Utvrđeno je da je plazma na izlasku iz kapilare znatno rjeđa i hladnija nego u slučaju laserske ablacije ravne površine, ali i manje kontanimirana partikulama i kapljicama. To pruža mogućnost formiranja kvalitetnijih tankih filmova nego standarnim postupkom ablacije ravne površine, ali vezano sa znatnim produženjem postupka rasta  8-10 .

nije evidentirano

nije evidentirano