Primjena laserski proizvedene plazme u elektronici (CROSBI ID 379881)
Ocjenski rad | sveučilišni preddiplomski završni rad
Podaci o odgovornosti
Trninić, Bojan
Pleslić, Sanda
hrvatski
Primjena laserski proizvedene plazme u elektronici
U radu se obrađuju svojstva laserski proizvedene plazme i njezina primjena u elektronici. Svojstva laserski proizvedene plazme proučavala su se na međudjelovanju snopa dušikova lasera s čvrstom metom od silicija. Primjena laserski proizvedene plazme u elektronici opisana je pomoću nekoliko osnovnih procesa u obradi mikrodimenzionalnih površina, kao što su jetkanje i litografija.
Plazma; laserski proizvedena plazma; litografija
nije evidentirano
engleski
Application of laser-produced plasma in electronics
nije evidentirano
Plasma; laser produced plasma; lithography
nije evidentirano
Podaci o izdanju
25
03.07.2012.
obranjeno
Podaci o ustanovi koja je dodijelila akademski stupanj
Fakultet elektrotehnike i računarstva
Zagreb
