Nalazite se na CroRIS probnoj okolini. Ovdje evidentirani podaci neće biti pohranjeni u Informacijskom sustavu znanosti RH. Ako je ovo greška, CroRIS produkcijskoj okolini moguće je pristupi putem poveznice www.croris.hr
izvor podataka: crosbi !

Studij defekata uvedenih implantacijom niskoeneretskih kanaliziranih iona P31 u p-tip silicija (CROSBI ID 363887)

Ocjenski rad | magistarski rad (mr. sc. i mr. art.)

Etlinger, Božidar Studij defekata uvedenih implantacijom niskoeneretskih kanaliziranih iona P31 u p-tip silicija / Urli, Natko (mentor); Zagreb, Prirodoslovno-matematički fakultet, Zagreb, . 1973

Podaci o odgovornosti

Etlinger, Božidar

Urli, Natko

hrvatski

Studij defekata uvedenih implantacijom niskoeneretskih kanaliziranih iona P31 u p-tip silicija

U silicij p-tipa, vodljivosti 100 ohm-cm, implantirani su ioni fosfora P31 na sobnoj temperaturi sa energijom 40 keV. Smjer implantacije je bio (111). Upotrijebljene su doze 10(na12) i 10 (na13) iona po cm2. Izvršena su mjerenja temperaturne zavisnosti Hallovog koeficijenta i vodljivosti slojeva na uzorcima nakon napuštanja na višim temperaturama, počevši od 250C, uz postepeno skidanje slojeva metodom anodne oksidacije. Nakon napuštanja dobiven je donorski nivo fosfora (Ec - 0, 44 eV), te nivoi Ec - 0, 21 eV i Ec - 0, 42 eV koji pripadaju defektima unutar implantiranog sloja. Diskutirana je nehomogenost u raspodjeli tih defekata u ovisnosti o dubini unutar implantiranog sloja, te ovisnost koncentracije defekata o temperaturi napuštanja. U radu je pokazano da kod gore navedenih uvjeta implantacije ne dolazi do stanja degeneriranog sloja unutar silicija. Osim mjerenja Hall efekta i površinske vodljivosti vršena su i mjerenja termostimuliranih struja, infracrvene refleksije, te elektronske spinske rezonancije.

implantacija; defekti

nije evidentirano

engleski

Study of defects in p-type silicon implanted with channeled low energy phosphorus ions

nije evidentirano

implantation; defects

nije evidentirano

Podaci o izdanju

74

13.07.1973.

obranjeno

Podaci o ustanovi koja je dodijelila akademski stupanj

Prirodoslovno-matematički fakultet, Zagreb

Zagreb

Povezanost rada

Fizika