hrvatski

Raspršenje x-zračenja s površina pri malom upadnom kutu: istraživanje nanostrukture i morfologije površinskih tankih heterogenih slojeva

U ovoj je disertaciji prikazano eksperimentalno istraživanje strukture i morfologije više različitih uzoraka s tankim površinskim heterogenim slojevima upotrebom x-zračenja pri malom upadnom kutu. Izgrađen je laboratorijski eksperimentalni postav za takva istraživanja na Institutu za fiziku u Zagrebu. Analizom spektara raspršenja u malim kutovima i difrakcijskih linija u velikim kutovima proučavana je pojava i rast nanokristala germanija u okružju SiO2 u dva sistema. Postupkom implantacije dovoljno visoke doze iona Ge u SiO2, formiraju se nanočestice Ge koje pokazuju izotropno uređenje kratkog dosega. S druge strane, magnetronska depozicija periodičkih višeslojeva (Ge+SiO2)/SiO2, uz naknadno termičko popuštanje uzoraka, rezultira u formiranju nanočestica Ge koje su u odvojenim SiO2 slojevima paralelnima s površinom. Naknadnim termičkim tretmanom uzoraka može se kontrolirati srednja veličina i volumni udio nanočestica Ge.

Raspršenje i difrakcija rendgenskog zračenja; mali upadni kut; tanki površinski heterogeni slojevi; nanokristali germanija

nije evidentirano