Paramagnetski defekti u elementalnim poluvodičima i njihovim slitinama (CROSBI ID 352826)
Ocjenski rad | doktorska disertacija
Podaci o odgovornosti
Grozdanić, Danijela
Pivac, Branko ; Rakvin, Boris
hrvatski
Paramagnetski defekti u elementalnim poluvodičima i njihovim slitinama
Amorfni silicij (a-Si) je predmet širokog opsega istraživanja već dugi niz godina zbog svojih važnih primjena u tehnologiji i zbog pogodnosti za istraživanje svojstava šire klase materijala koja ima važne tehnološke primjene. Proučavanje tehnikom EPR-a zbog svoje specifičnosti i visoke osjetljivosti daje značajan dodatni uvid u strukturna svojstva materijala u kojemu se mogu detektirati aktivni paramagnetski centri. U ovom istraživanju smo pokazali jasnu razliku u strukturnim karakteristikama između a-Si materijala proizvedenog implantacijom Si+ ionima u monokristalnu podlogu i a-Si materijala proizvedenog magnetronskim rasprašivanjem u atmosferi u radnog plina Ar. Pokazali smo da EPR spektroskopija vrlo dobro razlikuje strukturne karakteristike materijala nastalog u ovisnosti a tlaku radnog plina Ar. Rezultate EPR spektroskopije smo usporedili s rendgenskom analizom i pokazali specifićne komparativne prednosti EPR spektroskopije. Na isti način smo analizirali utjecaj temperature podloge pri depoziciji, i pokazali značajnu prednost ove tehnike u istraživanju strukturnih promjena u netretiranom materijalu kao i u materijalu odgrijavanom na povišenim temperaturama. Istražili smo nadalje utjecaj dodavanja vodika u radni plin pri depoziciji. Pokazali smo pritom da su karakteristike materijala a-Si:H formiranog magnetronskim rasprašivanjem znatno različite od ekvivalentnog materijala dobivenog CVD tehnikama i detaljno opisanog u literaturi. Najzad pokazali smo da u slitinama SiGe s velikom koncentracijom Ge ponašanje paramagnetskih defekata značajno odstupa od uobičajene slike u a-Si.
defekti; amorfni silicij; vodik; germanij; strukturni defekti; termički tretman
nije evidentirano
engleski
Paramagnetic defects in elemental semiconductors and their alloys
nije evidentirano
defects; amorphous silicon; hydrogen; germanium; structural defects; thermal treatment
nije evidentirano
Podaci o izdanju
134
18.05.2009.
obranjeno
Podaci o ustanovi koja je dodijelila akademski stupanj
Prirodoslovno-matematički fakultet, Zagreb
Zagreb