hrvatski

Određivanje debljine tankih polimernih filmova uz pomoć rezonatora i FIB/SEM analize

Tankim filmovima se smatraju oni filmovi čija se svojstva uslijed reducirane debljine razlikuju od svojstava u bulk* sustavima. Kod polimernih filmova jedan od uzroka različitih svojstava je preferirana orijentacija bočnih lanaca na sučeljima, što uzrokuje i razliku u slobodnom volumenu po presjeku. Rezultati analiza se nužno prikazuju u ovisnosti o debljini. Razlika u strukturi otežava određivanje debljine filma metodama uobičajenim za polimerne filmove kao što su elipsometrija, rendgenska difraktometrija, profilometrija i sl. U ovom radu debljina polimernog filma na podlozi od silicija određena je uz pomoć rezonatora, a rezultati su uspoređeni sa slikama dobivenim uz pomoć fokusirane ionske zrake i raster elektronskog mikroskopa, FIB/SEM analizom (engl. Focused Ion Beam/Scanning Electron Microscopy). Obje metode pokazale su se neovisnim o strukturnim nehomogenostima.

tanki polimerni film; rezonator; FIB/SEM; debljina

nije evidentirano