Napredna pretraga

Pregled bibliografske jedinice broj: 305694

Structural and Optical Properties of Silicon Nanocrystals Prepared by Phase Separation of Si-rich Silicon Oxide


Ristić, Davor; Ivanda, Mile; Biljanović, Petar; Žonja, Sanja; Furić, Krešimir; Musić, Svetozar; Ristić, Mira; Montagna, Maurizio; Ferrari, Maurizio; Righini, C.G.
Structural and Optical Properties of Silicon Nanocrystals Prepared by Phase Separation of Si-rich Silicon Oxide // Proceedings of the 30th MIPRO 2007 International Convention / Biljanović, P. ; Skala, K. (ur.).
Rijeka: MIPRO, 2007. str. 40-44 (predavanje, međunarodna recenzija, cjeloviti rad (in extenso), znanstveni)


Naslov
Structural and Optical Properties of Silicon Nanocrystals Prepared by Phase Separation of Si-rich Silicon Oxide

Autori
Ristić, Davor ; Ivanda, Mile ; Biljanović, Petar ; Žonja, Sanja ; Furić, Krešimir ; Musić, Svetozar ; Ristić, Mira ; Montagna, Maurizio ; Ferrari, Maurizio ; Righini, C.G.

Vrsta, podvrsta i kategorija rada
Radovi u zbornicima skupova, cjeloviti rad (in extenso), znanstveni

Izvornik
Proceedings of the 30th MIPRO 2007 International Convention / Biljanović, P. ; Skala, K. - Rijeka : MIPRO, 2007, 40-44

Skup
30th Jubilee of the International Convention MIPRO

Mjesto i datum
Opatija, Hrvatska, 21-25.05.2007

Vrsta sudjelovanja
Predavanje

Vrsta recenzije
Međunarodna recenzija

Ključne riječi
Si-rich silicon oxide; LPCVD; PVD; Raman spectroscopy

Sažetak
The Si-rich silicon oxide (SiO_x) thin films are prepared on silica substrates by low pressure chemical vapor deposition (LPCVD) method and by physical vapor deposition method (PVD). The oxygen concentration x is controlled by the ratio of the partial pressures of N_2O and SiH_4 gases in the reaction chamber. In order to induce the phase separation on SiO_2 and Si nanostructures the samples are annealed at the temperatures of 900-1000°C. The structural and optical properties of the samples are investigated by Raman spectroscopy.

Izvorni jezik
Engleski

Znanstvena područja
Fizika, Kemija, Elektrotehnika



POVEZANOST RADA


Projekt / tema
036-0982904-1642 - Sofisticirane poluvodičke strukture za komunikacijsku tehnologiju (Marko Koričić, )
098-0982904-2898 - Fizika i primjena nanostruktura i volumne tvari (Mile Ivanda, )
098-0982904-2952 - Sinteza i mikrostruktura metalnih oksida i oksidnih stakala (Mira Ristić, )

Ustanove
Fakultet elektrotehnike i računarstva, Zagreb,
Institut "Ruđer Bošković", Zagreb