Pretražite po imenu i prezimenu autora, mentora, urednika, prevoditelja

Napredna pretraga

Pregled bibliografske jedinice broj: 274077

MEHANIČKA SVOJSTVA Al-(Nb, Mo, Ta, W)TANKIH FILMOVA


Car, Tihomir; Radić, Nikola; Čekada, Miha; Tonejc, Antun
MEHANIČKA SVOJSTVA Al-(Nb, Mo, Ta, W)TANKIH FILMOVA // Zbornik sažetaka 13. Međunarodni sastanak Vakuumska znanost i tehnika / Radić, Nikola (ur.).
Zagreb: Hrvatsko vakuumsko društvo, 2006. str. 24-24 (poster, domaća recenzija, sažetak, znanstveni)


CROSBI ID: 274077 Za ispravke kontaktirajte CROSBI podršku putem web obrasca

Naslov
MEHANIČKA SVOJSTVA Al-(Nb, Mo, Ta, W)TANKIH FILMOVA
(Mechanical properties of Al-(Nb, Mo, Ta, W) thin films)

Autori
Car, Tihomir ; Radić, Nikola ; Čekada, Miha ; Tonejc, Antun

Vrsta, podvrsta i kategorija rada
Sažeci sa skupova, sažetak, znanstveni

Izvornik
Zbornik sažetaka 13. Međunarodni sastanak Vakuumska znanost i tehnika / Radić, Nikola - Zagreb : Hrvatsko vakuumsko društvo, 2006, 24-24

Skup
13. Međunarodni sastanak Vakuumska znanost i tehnika

Mjesto i datum
Koprivnica, Hrvatska, 13.06.2006

Vrsta sudjelovanja
Poster

Vrsta recenzije
Domaća recenzija

Ključne riječi
Tanki filmovi; mehanička svojstva
(Thin films; mechanical properties)

Sažetak
Tanki filmovi AlxNb1-x (95  x  20), AlxMo1-x (90  x  20), AlxTa1-x (95  x  20), AlxW1-x (50 x  80), dobiveni su magnetronskom depozicijom na sobnoj temperaturi korištenjem uređaja za depoziciju CMS 18. Struktura filmova ispitana je rentgentskim zračenjem, i ustanovljeno je da su filmovi AlNb amorfni u području od 30% do 85% udjela aluminija, dok su potpuno kristalni filmovi Al95Nb5 i Al20Nb80. Filmovi AlMo amorfni u području od 45% do 85% udjela aluminija, a potpuno kristalni filmovi su Al90Mo10 i Al40Mo60. Za AlTa amorfno je područje od 40% do 85% udjela aluminija, a kristalno Al95Ta5 i Al40Ta60. AlW filmovi amorfni su u području od 65% do 80% udjela aluminija, a kristalni su uzorci Al60W40 i Al50W50. Kod svih kombinacija između granica potpuno amorfnih i kristalnih filmova nalazi se područje u kojem su kristalna i amorfna faza mješane. Debljine filmova i naprezanja mjerena su na instrumentu Rank Taylor Hobson Form Talysurf. Debljine uzoraka kreću se prosječno od 325 do 400 nm, ovisno o sastavu. Naprezanja u AlMo i AlNb uzorcima su dominantno vlačnog tipa dok u AlTa naprezanja su dominantno tlačna. Mikrotvrdoća (opterećenje 2mN) mjerena je uređajem Mitutoyo MVK-H2. Mikrotvrdoće AlW i AlTa filmova, u amorfnom području, više su od virjednosti tvrđeg elementa u kombinaciji (W, Ta). Kod AlNb i AlMo filmova tvrdoća je dominantno pod utjecajem tvrđeg elementa i kontinuirano opada sa povećanjem udijela aluminija. Udio elastične energije u tvrdoći kreće se od približno 20% kod AlMo do 60% kod AlTa filmova.

Izvorni jezik
Hrvatski

Znanstvena područja
Fizika



POVEZANOST RADA


Projekt / tema
0098021

Ustanove
Institut "Ruđer Bošković", Zagreb

Citiraj ovu publikaciju

Car, Tihomir; Radić, Nikola; Čekada, Miha; Tonejc, Antun
MEHANIČKA SVOJSTVA Al-(Nb, Mo, Ta, W)TANKIH FILMOVA // Zbornik sažetaka 13. Međunarodni sastanak Vakuumska znanost i tehnika / Radić, Nikola (ur.).
Zagreb: Hrvatsko vakuumsko društvo, 2006. str. 24-24 (poster, domaća recenzija, sažetak, znanstveni)
Car, T., Radić, N., Čekada, M. & Tonejc, A. (2006) MEHANIČKA SVOJSTVA Al-(Nb, Mo, Ta, W)TANKIH FILMOVA. U: Radić, N. (ur.)Zbornik sažetaka 13. Međunarodni sastanak Vakuumska znanost i tehnika.
@article{article, editor = {Radi\'{c}, N.}, year = {2006}, pages = {24-24}, keywords = {Thin films, mechanical properties}, title = {Mechanical properties of Al-(Nb, Mo, Ta, W) thin films}, keyword = {Thin films, mechanical properties}, publisher = {Hrvatsko vakuumsko dru\v{s}tvo}, publisherplace = {Koprivnica, Hrvatska} }




Contrast
Increase Font
Decrease Font
Dyslexic Font